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激光平面干涉仪测量光学平板玻璃的平行差

导读: 平板玻璃是指两个表平面相互平行的玻璃板。,在加工中,由于加工设备、测量仪器等因素,不可能将两个表平面加工的绝对平行,总是会形成一定的角度,这个角度就是平行平板玻璃的平行性误差。

  平板玻璃是指两个表平面相互平行的玻璃板。,在加工中,由于加工设备、测量仪器等因素,不可能将两个表平面加工的绝对平行,总是会形成一定的角度,这个角度就是平行平板玻璃的平行性误差,用误差角习表示,见图1。

 

  利用自准直望远镜测量平行平板玻璃的平行性误差是一种最基本的方法,它使用简便,很容易看出上下表面反射回象所分开的距离

  所以被广泛使用。但由于人眼的鉴别力和自准直望远镜精度的有限(单管测角仪精度为6“)。所以,我们采用了精度较高的干涉法来测量平行平板玻璃的平行性误差。

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