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双频激光测量系统及在lC加工设备中的应用

导读: IC加工设备例如电子束曝光机、图形发生器以及投影光刻机中的精密定位x一y工件台系统,实际上是带有座标测量的双向定位工件台系统,工件台系统的定位精度直接影响图形加工精度。

  IC加工设备例如电子束曝光机、图形发生器以及投影光刻机中的精密定位x一y工件台系统,实际上是带有座标测量的双向定位工件台系统,工件台系统的定位精度直接影响图形加工精度。众所周知,工件台系统精度是机械结构精度和测量系统精度的综合,精密定位工件台的座标测量方法普遍采用激光干涉仪法。因此在设计合理的工件台机械结构的同时,必须合理选择高精度、高速度和高可靠性的测量系统。美国HP公司生产的5501型双领激光侧量系统普遍地应用于IC加工设备中。表1列出几种电子柬曝光机、投影光刻机以及图形发生器中采用双频激光测量精密定位工件台的技术指标。

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