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LOS激光尺位置反馈技术及其应用

导读: 由于LDS激光尺因其结构紧凑,易于安装,阿贝误差很小,同时性价比很高,所以特别适合高精度和长行程的定位反馈应用。

  激光尺位置反馈技术在机床行业的应用,就是以作为机床检验的高精度激光测距仪代替常规的光栅尺或钢尺作为机床位置反馈元件,来实现机床的高精度。

  随着对超精密和大型机床精度要求的提高,激光尺以常规位置反馈元件不可比拟的高精度、高分辨率、使用方便性等特性在机床行业也越来越受到重视,并逐步为一些机床厂商所采用,已在欧美一些国家的航空航天、军工及研究领域得到广泛的应用。

  1LDS激光尺的测l原理

  LDS激光尺应用激光原理、多普勒效应及光学外差原理,与多普勒雷达原理相似,如图1所示,当运动物体(反射镜)发生相对运动时,反射回的激光束频率因多普勒现象的存在而发生变化。

  由于平行反射镜以速度:运动,那么,探测器相对于光源的速度为2v。又由于光速与波长、频率的关系为,所以激光束经由反射镜反射而造成多普勒频率偏移好,可表示为

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