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激光成OLED制造关键技术

导读: OLED生产过程中最重要的一环是将有机层按照驱动矩阵的要求敷涂到基层上,形成关键的发光显示单元。

  OLED生产过程中最重要的一环是将有机层按照驱动矩阵的要求敷涂到基层上,形成关键的发光显示单元。OLED是一种固体材料,其高精度涂覆技术的发展是制约OLED产品化的关键。一般完成这一工作,有三种方法:

  1、真空沉积或真空热蒸发(VTE)

  位于真空腔体内的有机物分子会被轻微加热(蒸发),然后这些分子以薄膜的形式凝聚在温度较低的基层上。这一方法适用范围广泛,几乎可以生长所有化合物及合金半导体, 非常适合于生长各种异质结构材料,可以生长超薄外延层,并能获得很陡的界面过渡,生长易于控制,可以生长纯度很高的材料,外延层大面积均匀性良好,可以进行大规模生产,但是用于OLED产品效率较低。

  2、有机气相沉积(OVPD)

  OVPD(有机气相沉积)是由德国爱思强公司研发,该工艺设计改进了可生产性,相对于蒸镀技术可以降低制造成 本。该技术开一看做是VTE的升级。具有优越的重复性和工艺稳定性以及显著的膜层均匀性和掺杂的精确控制,为高良率批量生产奠定了基础,同时减少了维护和清洁要求,从而降级了材料消耗,具有提高材料利用率的巨大潜力。

  OVPD在一个低压热壁反应腔内,载气将蒸发的有机物分子运送到低温基层上,然后有机物分子会凝聚成薄膜状。使用载气能提高效率,并降低OLED的造价。但是,该技术还不能突破大面积玻璃基板和彩色OLED制备的诸多瓶颈。

  3、喷墨打印、转引等新兴技术

  OLED层的涂布,传统方式是以气相沉积技术为基础的,而新兴方式是以转印和印刷技术为基础的。比如,利用喷墨技术可将OLED喷洒到基层上,就像打印时墨水被喷洒到纸张上那样。

  新兴方式中转印技术由三星和3M联合开发和研制;印刷技术主要由爱普生开发和研制。这两种方法最大的优点是提高材料使用率和简化生产制程,但其技术和材料具有一定的垄断性。

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