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苏州德龙激光股份有限公司荣获“OFweek2016最佳激光行业应用案例奖”

导读: 苏州德龙激光股份有限公司凭借“应力诱导切割在半导体晶圆中的应用”荣获“OFweek2016最佳激光行业应用案例奖”。

  由OFweek中国高科技行业门户网主办,OFweek激光网承办,湖北省激光行业协会协办的“OFweek 2016中国激光行业年度评选”活动于9月7日在深圳大中华喜来登酒店圆满结束。

  本着公平、公正、公开的原则,本次评选共设立十大奖项(激光器技术创新奖、激光加工系统技术创新奖、激光仪器及设备技术创新奖、激光元件配件及组件技术创新奖、光学材料及红外技术创新奖、3D打印技术创新奖、最具人气产品奖、最佳激光行业应用案例奖、最具成长力激光企业奖、中国激光行业杰出人物奖)。经过数月激烈角逐,通过企业自荐、网络投票以及专家推荐等层层选拔,评选出最终获奖产品、人物及企业。

  其中,苏州德龙激光股份有限公司凭借“应力诱导切割在半导体晶圆中的应用”荣获“OFweek2016最佳激光行业应用案例奖”。

深圳大学徐平教授为苏州德龙激光颁奖(左一)并合影

  MEMS晶圆激光切割加工效果图

  获奖理由:

  激光应力诱导切割是一种全新的激光切割工艺,具有切割速度快、切割不产生粉尘、无切割基材耗损、所需切割道小、完全干制程等诸多优势。激光应力诱导切割最早起源于激光内雕,其原理是将短脉冲激光光束透过材料表面聚焦在材料中间,由于短脉冲激光瞬时能量极高,在材料中间形成小的变质点。将激光在聚焦在物质内部应用到切割领域,几年前德龙激光通过核心技术团队技术攻关,成功研发出了应力诱导切割技术,并申请了自己的专利,且将该技术应用于蓝宝石、玻璃、硅、SiC等多种材料的切割。

  获奖感言:

  感谢OFweek组织这个活动,感谢同行们对于德龙激光在半导体晶圆加工方面工作成绩的肯定,谢谢大家。

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