侵权投诉
当前位置:

OFweek激光网

正文

引起激光干涉仪测量误差的原因分析

导读: 激光干涉仪是精度最高的线性位移测量仪器,其光波可以直接对米进行定义,可溯源至国家标准。但是我们在使用中往往会出现检测偏离值,偏离我们的预估,以至于在高精度检测时,对设备产生怀疑。今天我们来扒一扒引起激光干涉仪测量误差的部分原因。

激光干涉仪是精度最高的线性位移测量仪器,其光波可以直接对米进行定义,可溯源至国家标准。但是我们在使用中往往会出现检测偏离值,偏离我们的预估,以至于在高精度检测时,对设备产生怀疑。今天我们来扒一扒引起激光干涉仪测量误差的部分原因。

1、 阿贝误差

因测量光学镜组的安装高度不在被测设备的运动轴上引起的测量误差称之为阿贝误差。产生的原因是设备移动时存在俯仰、扭摆差,因此光学镜组与运动轴偏置距离越远,引起的阿贝误差越大。

角度、偏置距离引起的误差表(单位:um)

上表可得:角度1″在500mm偏置距离下引起的误差大约是2.40um。

来个实际案例:以检测机床时不同安装高度为具体说明。

线性镜组安装距工作台10cm

线性镜组安装距工作台30cm

1  2  3  4  下一页>  
声明: 本文由入驻OFweek公众平台的作者撰写,观点仅代表作者本人,不代表OFweek立场。如有侵权或其他问题,请联系举报。

我来说两句

(共0条评论,0人参与)

请输入评论

请输入评论/评论长度6~500个字

您提交的评论过于频繁,请输入验证码继续

暂无评论

暂无评论

OFweek品牌展厅

365天全天候线上展厅

我要展示 >
  • 激光工程
  • 研发工程
  • 光学工程
  • 猎头职位
更多
文章纠错
x
*文字标题:
*纠错内容:
联系邮箱:
*验 证 码:

粤公网安备 44030502002758号