侵权投诉
订阅
纠错
加入自媒体

三菱开发出10W深紫外激光器 用于加工玻璃

2007-02-26 09:35
安娜PARKER
关注

  三菱电机日前成功开发出了输出功率增至10W的深紫外激光器,并在研发成果新闻发布会上进行了展示。这种波长213nm的深紫外激光器有望在空气中用于加工玻璃等光学器件。输出功率达到了普通工业用水平——10W,原产品的输出功率为5.6W。可实现高速加工所需的10kHz以上的脉冲激光。采用该激光器的加工设备的投产日期尚未确定。估计大约5年后将会有这种需求。

  由于深紫外激光的波长短,适合于形成直径为10~20μm的微孔等微细加工。除用于玻璃加工外,还可用于印刷电路板的微细加工。在加工印刷电路板等的树脂时,采用转换为树脂可吸收的355nm波长的激光。目前,印刷电路板的打孔加工主要采用CO2激光。但由于这种激光的波长长达10μm,可加工的孔径最低限度为50μm。

  此次的深紫外激光器使用波长为1064nm、输出功率300W的红外激光光源,采用非线性光学晶体硼酸铯锂(CLBO),把波长转换为213nm。首先把1064nm的红外激光转换为532nm,然后再转换为266nm的紫外激光,最后转换为213nm的深紫外激光。为提高此次激光的输出功率,减少了向紫外和深紫外激光转换波长的CLBO晶体中的杂质。原来采用的晶体,当输出功率为5.6W时,就达到了饱和。其原因是激光被晶体中的杂质吸收、生热,晶体开始产生偏差。此次采用的CLBO晶体由大阪大学开发。

声明: 本文由入驻维科号的作者撰写,观点仅代表作者本人,不代表OFweek立场。如有侵权或其他问题,请联系举报。

发表评论

0条评论,0人参与

请输入评论内容...

请输入评论/评论长度6~500个字

您提交的评论过于频繁,请输入验证码继续

暂无评论

暂无评论

文章纠错
x
*文字标题:
*纠错内容:
联系邮箱:
*验 证 码:

粤公网安备 44030502002758号