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横河电机上市光谱分析仪 用于2μm激光器的开发制造

2007-11-06 09:13
野明月
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   横河电机推出了用于2μm近红外线半导体激光器的开发生产的光谱分析仪。可对1200nm~2400nm的光进行最小感光灵敏度为-70dBm的测量。产品名称为“AQ6375”。2μm近红外线半导体激光器在用于检测空气中的温室气体等微量气体方面需求越来越大,此前该用途的激光器的开发生产中一般使用分光器来确认特性。该公司将光通信测量仪技术应用于长波长光的测量,实现了使用分光器不可能实现的灵敏度及分辨率的提高和检测时间的缩短。

  产品的开发和生产中环保措施日趋重要、必须检测CO2等温室效应气体及SO2、NO2等破坏环境气体的场合越来越多。因此,横河电机一直在推进正确检测空气中微量气体的方法――激光吸收分光法的开发。当光线入射到在空气中时,不同的气体分子吸收不同频率的激光。激光吸收分光法是通过测定激光(频率与被检测气体的频率相对应)被吸收的程度来检测气体浓度的技术。正确的检测必须采用在特定频率之外没有高强度峰值的高质量2μm频带的近红外线半导体激光器。若存在不必要的峰值,就会产生影响精度的噪音。

  过去,该用途激光器的开发生产使用分光器,没有多余的峰值。但是存在可测定强度的动态范围小、测定分辨率低等问题,无法充分地对高质量激光器进行测定。例如,分光器最小感光灵敏度较低,仅为-40~-50dBm,因此检测不出造成噪音的多余的峰值。此次的产品采用了用于通信用可视光激光器开发的光谱分析仪技术,实现了-70dBm的感光灵敏度。

  此外,使用分光器时的波长分辨率约为0.5nm,频率轴的精度也不高。AQ6375先通过衍射光栅使分光后的光反射回来,再通过衍射光栅将分辨率提高到最小0.05nm。另外,在0.1μm的波长测定范围内,使用分光器时需要数分钟到数十分钟的测测量,利用新光谱分析仪在1秒以下,即使难测量的情况也能实现在1分钟以内完成测量。

  横河电机将从07年11月15日开始供应AQ6375。价格为920万日元起。此外,还将在07年11月7日在东京BigSight国际会展中心开幕的“计测展2007东京”展会上展出该产品。

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