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光电所URE-2000系列紫外深度光刻机通过鉴定

2007-11-19 08:49
姚看江湖
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近日,中科院光电技术所研制的“URE-2000系列紫外深度光刻机”项目顺利通过成果鉴定。

林祥棣院士等7位鉴定专家认为,该成果总体性能达到国际同类光刻机技术水平,特别在i线光刻深度方面达到国际先进水平,且拥有自主知识产权,希望项目组进一步加速该成果的产业化进程,使其在经济与社会发展中发挥积极作用。

目前,URE-2000系列i线紫外接近/接触式光刻机有7个型号,分别是URE-2000A型、URE-2000B型、URE-2000/17型、URE-2000/25型、URE-2000/35型单面深度光刻机,URE-2000D型大面积光刻机和URE-2000S型双面光刻机。该系列成果在技术上取得的突破和创新有:采用积木错位蝇眼透镜平滑衍射效应、真空曝光和气浮曝光等技术,实现了高均匀照明和亚微米高分辨力光刻;采用底面对准技术,单曝光头实现高准确度双面对准曝光,采用积木错位蝇眼透镜结合离轴非球面反射照明等技术,实现大面积、高能、均匀、冷光、平行曝光;采用双焦点对准技术,实现厚胶高准确度对准与套刻。

URE-2000系列紫外深度光刻机技术先进、功能齐全、性能可靠、操作方便,尤其在深度光刻中具有特色,已推广应用120余台(套),并远销国外6台(套),开创了我国光刻机设备出口的先例,具有良好的应用前景。 

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