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极紫外光刻技术研发取得突破

2008-08-11 10:16
Timeless落尘
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    美国加州大学在与西盟公司合作为下一代极紫外光刻(EUVL)开发激光光源的研究中发现,利用二氧化碳激光器系统可以获得极紫外光刻所需的极紫外光。研究小组发现,让极紫外光刻的光源——二氧化碳激光系统输出长脉冲光,其工作性能不仅与短脉冲光的相当,而且能让系统更有效、更简单和更廉价。研究人员表示,二氧化碳激光器有两个优点,一是造价低易操作,二是能方便快捷地将输出转换为极紫外光。长脉冲工作的有效性表明二氧化碳激光系统可以更廉价地制造和运行极紫外光刻设备。(编辑:小曾)

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