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相干新型超短脉冲激光器 用于高效率太阳能电池制造

2008-12-19 11:07
PokerJoker
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   相干(Coherent)公司推出新型激光器 - TaliskerTM,专为下一代高效率太阳能电池制造优化设计,为产品线设备供应商和电池制造商提供了先进的内嵌式、即开即用工具。
  

 

 


   
   传统上用于激光边缘绝缘、激光刻槽埋栅及导通钻孔的激光加工设备中,采用的激光器绝大多数是脉冲宽度在纳秒量级,波长则往往是红外波段的1064nm。然而,采用皮秒超短脉冲宽度和绿光或紫外波段波长的激光器,可以提高划线精度,同时减少激光在晶体硅片内的造成的损伤(或微裂)。新型的Talisker激光器在业界率先将这两个优势引入太阳能电池制造。
  
  
   相干(Coherent)公司是纳秒级脉冲激光器的领先供应商,AVIATM和PRISMATM系列激光器已经广泛应用于晶体硅及薄膜太阳能电池的24小时/7天批量生产。Talisker系列激光器正是相干(Coherent)公司在上述激光器的基础上研发而成,与上述纳秒级激光器具有相似的输出能量及速度(即脉冲重复频率)。但是,由于Talisker系列激光器具有更短的脉冲宽度,其峰值强度提高了几个数量级,更有利于精确划线,并大大减小激光/材料作用过程中的热损伤。
  
  
   Talisker激光的另一个优势是可以通过软件控制方式,实现红外,绿光或紫光波段的激光输出。由于绿光和紫外波段,尤其是355nm的紫外激光具有极短的材料穿透深度,因此采用紫外或绿光波段激光对于在晶体硅片上进行高度局域化的表面划线是必需的。同时具有皮秒超短脉冲宽度和绿光/紫外波长的高能量激光器,将把用于高效率晶体硅太阳能电池制造的激光精度提高到全新的水平,例如对表面绝缘材料进行选择性去除,而不损伤到下面的晶体硅材料。同样地,在薄膜太阳能电池加工中,以更高的精度进行刻划也是非常关键的,例如对铜铟镓硒(CIGS)的P2和P3工艺激光划线
  
  
   Talisker系列采用了基于光纤激光技术的模块化、可扩展设计。该激光器依靠单相电力运转,几乎没有任何外部消耗。由于内置了诊断及远程以太网维护接口,Talisker激光可以方便的集成到在线“交钥匙”工具中。得益于光纤/自由空间激光头设计,整个激光器的底板面积小于40 cm x 100 cm。
   
   
   (编辑:xiaoyao)

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