侵权投诉
订阅
纠错
加入自媒体

中国科学院利用KBBF晶体直接产生深紫外光

2009-01-19 09:24
退思
关注

   中国科学家设计并制作出一个波长可调的全固态激光器(all-solid-state laser),其波长可在175到210 nm的深紫外光(DUV)范围内调整,功率可达数毫瓦。这项成果将有益于需要波长约200 nm深紫外光源的应用,例如光电子能谱技术(Photoemission Spectroscopy,PES)与光刻技术(photolithography)等。

 

   中国科学院的Zuyan Xu表示,他们利用四倍频技术(fourth harmonic generation)将Ti:Sapphire激光器的波长由175调整到200 nm。波长为193 nm时,激光器输出最高功率为2.23 mW;波长介于182到210 nm之间,功率也都能达到1 mW以上。这是科学家首度直接以二倍频技术制作出波长低于200 nm且功率达毫瓦等级的可调式全固态激光器。

 

   该研究团队的实验架构可分为三部分:先以波长532 nm的绿光激光器来激发Ti:Sapphire激光器,然后以二倍频技术将激光器光转成UV光,最后再以四倍频技术将UV光转成DUV光。

 

   Ti:Sapphire输出的激光器光(功率大于3W,波长介于690与840 nm)被聚焦至一组硼酸钡(BBO)晶体,以产生波长340至415 nm 的UV光,UV光再经过氟代硼铍酸钾(KBBF)晶体,就能产生DUV光。Xu表示该方法得到的DUV光是准连续波(quasi-continuous wave),重复率为8 kHz,脉冲宽度约20 ns。

 

   Xu 指出,KBBF是唯一可以利用二倍频方式得到波长低于200 nm的DUV光的晶体,但由于它具有层状结构,要沿着相位匹配(phase-matching)方向切割是不可能的。为此他们发明出特殊的棱镜耦合(prism-coupling)技术来解决此问题。该研究团队目前朝着制作更高功率与更大可调波长的方向努力,长远的目标是将此技术商业化。详见Applied Physics B 93, 323 (2008)。(编辑:于占涛)

声明: 本文由入驻维科号的作者撰写,观点仅代表作者本人,不代表OFweek立场。如有侵权或其他问题,请联系举报。

发表评论

0条评论,0人参与

请输入评论内容...

请输入评论/评论长度6~500个字

您提交的评论过于频繁,请输入验证码继续

暂无评论

暂无评论

文章纠错
x
*文字标题:
*纠错内容:
联系邮箱:
*验 证 码:

粤公网安备 44030502002758号