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相干 Burkhard Fechner:先进紫外准分子激光加工

2009-03-23 09:53
华静一
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演讲人:相干公司  Burkhard Fechner博士
题目:先进紫外准分子激光加工


演讲概要:

        高功率紫外准分子激光器提供了从100mJ到1000mJ的能量,光子能量达到5eV、6.3eV、7.9eV,使得用于激光微加工更具弹性。事实上,准分子激光器做到了每种材料的精确加工,高分辨率材料切除时不须过后处理。准分子光子无上转换要求,准分子激光器可以直接输出。数百瓦的功率输出容易取得,并能得到高生产率,增强了工艺能力。

        更重要的是可重复的生产带来了时间和空间上持续稳定的脉冲和采样能量的均匀,这种特点导致了准分子激光器的优越性能,超过其他脉冲激光源,比如泵浦Nd:YAG激光器

        脉冲波动小于1%,这个在频率脉冲变换Nd:YAG激光系统中很难做到的。另外,大型平顶准分子激光器的外形非常适合于高效的二维或三维微观结构。紧凑微加工概念适合于材料消融和表面激活,这些在报告中将被介绍。
 

(编辑:曾聪)

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