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美研发出亚波长全介质微碟片激光器 标准光刻技术制造

2009-04-03 14:53
PokerJoker
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        4月3日消息,美国科学家发明了一种亚波长全介质微碟片激光器,这项成果由耶鲁大学、西北大学和国家标准和技术研究所取得。由于该产品可以采用标准的光刻技术进行制造,所以能够进行大规模生产。以前的亚波长碟片激光器要采用电子束光刻和干法蚀刻,这种工艺非常昂贵。亚波长激光器在精确生物传感和光学集成电路方面很有潜力。

        这种新的激光器采用了铝镓砷化物( AlGaAs)为基础的材料,拥有4到5个方位角模式(azimuthal mode),这5个模式的波长的间距比较大,涉及的频谱较宽,可以通过精确微调碟片的直径实现激光输出。这种激光器(实验时被冷却到10K温度)是由在AlGaAs底座上加上GaAs碟片组成。举个例子,这个激光器的直径是627nm,厚度是265nm,发光波长是870nm,那么模式量是0.97 (λ/n)3。


编译:光电新闻网 曾聪
 

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