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激光扫描振镜新技术探索

导读: 一套基本的x-y扫描装置看起来很简单:两块反射镜,由电机驱动,可将入射激光束反射到特定区域(工作区域)的任何点。

  扫描振镜技术

  一套基本的x-y扫描装置看起来很简单:两块反射镜,由电机驱动,可将入射激光束反射到特定区域(工作区域)的任何点。一组平场(f-  )透镜确保焦点在工作区域平面内(二轴系统,如图1),对基本的Nd:YAG激光器来说,典型的工作范围为40×40平方毫米(ff-   =100 毫米)至180×180 平方毫米(ff-  =254 毫米;对于高级谐波激光器和二极管激光器,其工作范围为40×40 平方毫米(ff-  =100 毫米)至120×120平方毫米(ff-  =163 毫米),具体取决于平场透镜的焦距。显然,所需工作范围越大,工作距离越长。如果在扫描振镜前端的激光光路中,使用聚焦透镜和可移动透镜的组合来代替平场透镜,工作范围和工作距离还会进一步增加(三轴系统,如图2)。该装置可使工作范围达到1200×1200平方毫米,工作距离达到1500毫米。

扫描振镜加平场透镜的功能原理

扫描振镜加移动镜头的功能原理

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