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反射式激光莫尔信号的精密定位控制

导读: 本文介绍了反射式激光莫尔信号特性和差动式精密定位方法,用实验验证了反射式激光莫尔信号特性的实验测定结果与理论计算结果的一致性。

  本文介绍了反射式激光莫尔信号特性和差动式精密定位方法,用实验验证了反射式激光莫尔信号特性的实验测定结果与理论计算结果的一致性。给出了差动式精密定位控制方法的高精度定位实验结果。

  1引言

  超精密自动定位激光测量技术是精密加工产业、电子器件组装线、高清晰显示器制造、半导体器件制造等领域的关键性基础性技术。利用激光莫尔信号进行精密自动定位技术是当今世界采用的一种高新技术方法。

  本文在研究了反射式激光莫尔信号特性的基础上,提出利用两组激光莫尔信号传感器,取其反射产生的0次激光莫尔信号的差信号为控制信号,由微机控制实现装置的精密自动定位,取得了纳米级高精度定位实验结果。对集成电路制造技术等精密加工工程领域具有重要的实用价值。

  2反射式激光莫尔信号位移特性

  传感器组成如图1所示,2片衍射光栅平行设置,激光光束垂直入射光栅,由激光的衍射产生反射的0次莫尔光信号Ψr(Δx,G)0,该信号由光电二极管检测后转换为电信号。

  反射的0次莫尔信号强度随两片光栅间的相对位移呈周期性变化,其理论关系式由(1)至式(4)所示。

 

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