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脉冲激光沉积技术

2012-08-19 06:37
seele_jin
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  六、由于换靶位置灵活,便于实现多层膜及超晶格薄膜的生长,这种原位沉积所形成的多层膜具有原子级清洁的界面。

  七、成膜污染小。由于激光是一种十分干净的能源,加热靶时不会带进杂质,这就避免了使用柑祸等加热镀膜原材料时对所沉积的薄膜造成污染的问题。

  正因为脉冲激光沉积技术具有上述突出优点,再加上该技术设备较简单,操作易控制,可采用操作简便的多靶台,灵活性大,故适用范围广,并为多元化合物薄膜、多层膜及超晶格膜的制备提供了方便。目前,该技术已被广泛运用于各种功能性薄膜的制备和研究,包括高温超导、铁电、压电、半导体及超晶格等薄膜,甚至可用于制备生物活性薄膜,显示出广泛的应用前景。

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