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相干推出新型紫外光纤激光器Daytona™

导读: 相干公司推出新型紫外光纤激光器Daytona™355-20,其不但能提供短脉冲皮秒激光器的精密加工能力,而且还具有二极管泵浦的Q开关固体激光器的高吞吐量。

  相干公司推出新型紫外光纤激光器Daytona™355-20,其不但能提供短脉冲皮秒激光器的精密加工能力,而且还具有二极管泵浦的Q开关固体激光器的高吞吐量。Daytona 355-20发射的亚纳秒脉冲可提供超过20W的功率,重复频率超过1MHz(波长355 nm)。

  此外,Daytona能实现TEM00(M2 <1.3)输出光束,这使其成为精密微加工的理想选择。而且,Daytona是一个高度灵活的平台,其可在宽泛的工作范围调整,以满足特定应用的实际需要。例如,脉冲宽度可以在不足1ns到20ns之间调整,重复频率可以从单脉冲发射调整到超过2MHz。

  对周边无热损伤(热影响区HAZ)的微加工的关键是:用很短的波长驱动冷烧蚀,并用短脉宽限制烧蚀过程中的热传导。传统的Q开关UV激光器提供几十纳秒的脉冲宽度,这会产生很多应用无法接受的热影响区。在Daytona推出之前,人们唯一的选择是使用脉宽达几十皮秒的激光器,但这些光源并不能在紫外波段提供足够高的输出功率以满足高吞吐量的工业需求。因此,Daytona是为这些应用而推出的首个精密、高功率激光源。

新型紫外光纤激光器Daytona

新型紫外光纤激光器Daytona

  Daytona适用的应用包括晶圆切割、划线、钻孔(特别是低k材料)、触摸屏和液晶显示器的玻璃划线、触摸屏刻图,以及太阳能制造领域的薄膜划线。

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