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理光开发出在硅上使PZT(锆钛酸铅)薄膜晶化的新技术

2013-05-29 14:12
Minor昔年
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  理光开发出了在硅上使PZT(锆钛酸铅)薄膜晶化的新技术。该技术先用喷墨打印机喷出PZT原料,然后利用连续输出的半导体激光器加热使其干燥,从而使其结晶。该技术不仅适用于三维结构体,如果能够实现较高的结晶品质,还能以低成本量产长寿命的传感器和致动器。

  使用半导体激光,光斑形状为矩形

  PZT具有压电效应,在受外力作用变形时能产生电压,同时,向其施加电压会使其变形。作为压电材料,PZT被广泛用于加速度传感器、压力传感器、小型投影仪的反射镜驱动部分及硬盘磁头等领域。面向上述传感器和致动器市场,有部分厂商在最近几年确立了量产技术。

  要实现高品质结晶,需要最适当的加热控制

  理光的新技术是基于使PZT原料液体凝胶化的化学溶液沉积法(CSD法)。通过CSD法用喷墨打印机形成PZT薄膜,然后利用激光照射局部对其加热以形成晶体。激光元件采用的是连续输出型半导体。为了避免因加热不充分而出现未结晶部分以及因加热过度而出现裂纹和剥落部分,使加热后的PZT涂层部分的温度实现了均匀分布。具体来说就是将激光束的形状做成了长方形,还控制了其强度分布。做出来的PZT薄膜加载电压产生机械变形的变形系数约为100pm/V。

  做出来的元件的变形特性

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