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Gigaphoton公司的EUV光源达到20W输出

2013-08-20 09:58
雷本祖
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  Gigaphoton公司18日宣布已经成功将激光产生等离子体(LPP)EUV光源产品的输出端等效最大功率推进到了20W水平。该公司达成这个目标所使用的方法是应用固态预脉冲激光器,以100kHz频率的CO2激光来轰击锡靶标。采用这种方法,该公司在光源运行过程中达成了平均10W水平的输出功率。由于目前普遍认可的预生产型商用EUV光源输出功率级别正好在10W左右,因此Gigaphoton公司此次的成果标志着预生产极EUV光源发展过程中的一个新里程碑。

  Gigaphoton公司自2002年起便专注于高输出功率,经济型LPP光源的研发。几年来该公司研发出了许多相关的技术,包括锡液滴尺寸低于20μm水平的按需式锡液滴生成技术,以及融合了短波长固态预脉冲激光器技术,CO2激光技术,以及磁场式杂质消除技术在内的LPP EUV激光光源技术。

  据了解,其独特的LPP光源技术可通过按需使用超小锡液滴、减少停机时间和成本,从而扩展液滴发生器的寿命。此外,已通过优化组合光源达到高EUV输出转换效率。为了使集光反射镜的寿命最大化,使用一个超导磁体来生成强大的磁场,引导锡液滴热膨胀所产生的不需要杂质流向锡捕集器,以进一步减少成本和停机时间。

  Gigaphoton公司的CEO兼总裁Hitoshi Tomaru指出,“事实上,我公司独特的LPP光源技术现在能够实现一定程度的EUV输出,足以媲美现有试制性能的EUV输出,这一事实表明我公司的高输出、低运行成本、稳定LPP光源等见解的确可以实现。”

声明: 本文由入驻维科号的作者撰写,观点仅代表作者本人,不代表OFweek立场。如有侵权或其他问题,请联系举报。

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