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王耘博士与宁波材料所交流激光瞬间退火技术

2014-01-31 00:01
kumsing
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  近日,美国Ultratech公司王耘博士来宁波材料所交流访问,并作了题为“LSA技术及其在半导体中的应用”的学术报告。

  报告中,王耘博士指出LSA(激光瞬间退火)技术是一种颠覆性技术,并分别从LSA技术的基本原理、在半导体设备中的应用、集成电路制造的快速退火、减少非均匀光的方式,以及未来3D结构与新材料的可扩展性等几个方面进行详细介绍。交流期间,王耘博士和与会人员就共同感兴趣问题进行深入探讨交流。

  会后,王耘博士分别参观了激光与智能能量场制造团队实验室、测试中心、超净室以及光电光伏器件表征实验室。

  王耘博士在半导体器件,工艺,及设备领域有二十多年经验。目前主要负责研发激光快速热处理技术及应用设备。其中LSA(激光瞬间退火)技术处于该领域世界领先地位,已被广泛应用于最新半导体芯片的生产流程,并获2009年国际半导体设备和材料协会(SEMI)颁发的年度新技术奖。

  曾任美国摩托罗拉公司器件与工艺合成高级工程师,负责微控制器工艺流程的研发与技术转让。后加入美国半导体设备商Ultratech。 历任项目经理,技术总监,副总裁,资深副总裁等职。在快速激光热处理与半导体工艺方面已获13项专利,另有4项正在申请之中。在学术会议和刊物发表论文近60篇。并多次获邀在相关国际会议中担任委员。

  早年毕业于北京大学物理系,后考取由诺贝尔奖获得者李政道发起的CUSPEA物理奖学金。美国纽约大学(NYU)物理硕士,明尼苏达大学电子工程博士。曾在纽约大学从事磁性薄膜的巨磁耦合研究。在明尼苏达大学其间,从事纳米制造,量子及单电子晶体管的研究。

 

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