侵权投诉
订阅
纠错
加入自媒体

中科院光电所气浮转台研制取得重要进展

2016-08-15 00:22
安娜PARKER
关注

  气浮式转台是超精密机械中的一种典型结构,从诞生之日起就一直受到世人的关注,它为微光刻技术、数控加工、生物技术、纳米表面形貌测量、高精密机床研发等领域提供一个能够实现超精密定位、检测和精确运动的载物平台,为开展超精密加工工艺技术研究拓展了领域,能解决高精度零件在加工、检测等方面的难题。

  光电所精密机械制造中心借助部门多年的精密机械加工及装配经验,采用最优参数及合理的精度分配完成了前期的设计工作,搭建了气浮转台精度检测平台,最终成功研制出一台直径200mm的气浮转台,由此掌握了气浮转台从设计到制造的全套技术。

  在所专项基金支持下,精密机械制造中心2009年成立气浮攻关团队开展气浮转台研制工作。研究团队对高压气体的流动规律、压力分布、转台精度分离方法等进行了充分研究。搭建节流器性能实验平台,研究其影响因素——高压气膜的压力分布、气源压力、节流器直径、节流器数量、均压槽深度等,找到了最优气膜刚度时的参数区间。在气浮转台研制上取得了关键技术突破,为高精度零件的加工与检测、超精密加工工具的研制奠定了技术基础。

声明: 本文由入驻维科号的作者撰写,观点仅代表作者本人,不代表OFweek立场。如有侵权或其他问题,请联系举报。

发表评论

0条评论,0人参与

请输入评论内容...

请输入评论/评论长度6~500个字

您提交的评论过于频繁,请输入验证码继续

暂无评论

暂无评论

文章纠错
x
*文字标题:
*纠错内容:
联系邮箱:
*验 证 码:

粤公网安备 44030502002758号