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高精度激光位移传感器CDX系列 短距离型追加上市

奥泰斯工业自动化于2018年3月上旬,高精度激光位移传感器「FASTUS CDX系列」正反射型·短距离型机型追加上市。

高精度激光位移传感器CDX系列 短距离型追加上市

「CDX」系列,比业界高2.7倍以上,成为目前世界上最高线性精度※非接触式超高精度测量的激光位移传感器。比起以太网通信功能,在WEB服务器上更能简便地读取传感器的测量值和参数设定。

此次追加的产品为,测量范围15±1mm、分辨率0.25μm的正反射型CDX-L(W)15A和测量范围30±5mm(设定为漫反射模式时)分辨率0.25μm的短距离型CDX-(W)30A。其中宽光斑·短距离型CDX-W30A达到目前业界最高※ 的线性精度(±0.015% F . S .),实现高精度测量。

此系列产品最适合玻璃、硅晶片等透明体·镜面体的测量,在以FPD、半导体、电子部件行业为首的行业领域广泛使用。

OPTEX-FA今后也会持续扩大「FASTUS(ファスタス)」商标的产品,提升工业用传感器的新价值。

产品外观(图片为正反射型产品)

高精度激光位移传感器CDX系列 短距离型追加上市

※三角测量方式的漫反射型激光位移传感器。2018年1月本社调查。另外,内容中“线性精度”也称“线性度”,是表示与实际距离的误差的位移传感器的规格。例如测量范围为30±5mm的宽光斑·短距离型CDX-W30A,较实际距离的测量误差:最大为±1.5μm。

产品阵容

高精度激光位移传感器CDX系列 短距离型追加上市

应用案例

智能手机的外壳高度测量(正反射模式)

高精度激光位移传感器CDX系列 短距离型追加上市

玻璃基板的平整度测量(正反射模式)

高精度激光位移传感器CDX系列 短距离型追加上市

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