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希景科技实现二维MEMS扫描微镜量产 助推激光雷达固态化

2018-12-31 01:41
来源: 微迷网

据麦姆斯咨询报道,专注于研发和生产车规级MEMS扫描微镜的苏州希景微机电科技有限公司(以下简称:希景科技)近日宣布,公司自主开发的二维MEMS扫描微镜实现成功量产。这款二维MEMS扫描微镜的镜面直径为5mm(可根据客户需求进行定制),具有体积小、驱动功耗低、扫描频率高、扭转转角大、生产成本低等特点,主要应用领域包括汽车激光雷达(LiDAR)等3D扫描应用。

希景科技实现二维MEMS扫描微镜量产 助推激光雷达固态化

图1 希景科技展示镜面直径为5mm的二维MEMS扫描微镜

在这轮自动驾驶发展热潮中,激光雷达普遍被认为是实现完全自动/无人驾驶的核心赋能技术之一。传统的三维激光雷达是在单点测距的基础上,通过二维扫描实现三维空间的深度信息测量,因此激光束扫描是激光雷达系统设计的核心环节。但传统的机械式扫描激光雷达通常会有较大的体积、重量和功耗,同时成本高昂。因此,采用MEMS扫描微镜的混合固态激光雷达,被业界认为是最有望快速走向大规模量产及应用的解决方案。

同时,希景科技提供MEMS扫描微镜控制套件,可以满足广泛的客户应用需求,极大地缩短客户的产品开发时间。希景科技的二维MEMS扫描镜的镜面直径通常为数毫米,镜面采用金反射薄膜,可以满足大功率红外激光应用的要求。

希景科技在MEMS扫描微镜上集成了角度传感器,通过控制电路采集传感器的反馈信号以实现对MEMS扫描微镜的闭环控制。此外,希景科技还能够根据客户需求,提供如单轴谐振型微镜、单轴准静态微镜、指向型微镜等定制化产品及服务。希景科技开发的镜面直径为5mm的二维MEMS扫描微镜已经进入量产阶段,其主要性能指标如下:

表1 希景科技二维MEMS扫描微镜指标参数

希景科技实现二维MEMS扫描微镜量产 助推激光雷达固态化

为了加速客户的产品上市,方便客户更快地导入MEMS扫描微镜,希景科技还提供了基于MEMS扫描微镜的激光脉冲扫描开发模组。通过这款开发模组,用户可以设定激光脉冲扫描角度、扫描帧率、扫描线数,以及扫描脉冲的水平分辨率等参数。

希景科技实现二维MEMS扫描微镜量产 助推激光雷达固态化

图2 希景科技的激光雷达开发模组驱动板

希景科技实现二维MEMS扫描微镜量产 助推激光雷达固态化

图3 希景科技的激光雷达开发模组的软件控制界面

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