“维科杯·OFweek 2025激光行业年度评选”由高科技行业门户OFweek维科网主办，维科网·激光承办，活动旨在表彰激光行业具有突出贡献的优秀产品、技术及企业、人物，鼓励更多企业投入技术创新，同时为行业输送更多创新产品、前沿技术，以提高生产力、经济效益，给用户提供更大便利，引导行业良性快速发展。

本次评选活动2025年6月2日－2025年6月12日为网络投票阶段，并将于2025年7月31日在深圳福田会展中心（1号馆）举行盛大的颁奖典礼。

目前，活动正处于火热的报名申报阶段，业内企业均积极响应。英诺激光科技股份有限公司正式参评“维科杯·OFweek 2025年度激光行业最佳光纤激光器技术创新奖”。

参选奖项：维科杯·OFweek 2025年度激光行业最佳光纤激光器技术创新奖

项目名称：窄线宽高功率连续深紫外激光器

产品推出年份／开发背景：半导体行业的缺陷检测是发展芯片技术至关重要的一环，包括对光置及晶圆表面等缺陷，而当前国产芯片节点正向28 nm以下推进，因此对晶圆缺陷检测需在空间分辨、灵敏度和效率等方面加以提升。发展连续、窄线宽深紫外激光是提升亚28nm芯片晶圆缺陷检测水平的重要发展方向。窄线宽深樂外连续激光器是缺陷暗场检测装备的核心部件，长期被国外垄断，并目面临被卡脖子风险。

产品扼要说明：1． 关键指标达到国际一流水平：光束质量M2＜1．2，单点寿命大于1000hrs，整机寿命大于20000hrs；2． 高端应用：主要应用于拉曼光谱分析的激发光源、检测光罩（Mask，也称Reticle）上的图形错误、颗粒划痕等缺陷，以及28nm及以下节点制程晶圆表面缺陷检测，利用高精度的光学成像技术，通过图像分析识别晶圆表面的微小缺陷，如颗粒、裂纹、划痕等进行检测识别，助力半导体检测装备国产化；3． 高功率、窄线宽、连续深紫外输出，避免脉冲激光峰值功率对检测样品的损伤概率，提高检测的空间分辨率、灵敏度和效率。

其设计应用或创新的关键点在哪里：1． 全新设计的光学系统，独特的倍频方式，稳定性更高，关键指标光束质量达到国际一流水平：M2＜1．2；2． 窄线宽，配备高精度功率负反馈以实现功率高稳输出；3． 自研高性能高可靠性的核心模块，如非线性晶体的高温加热炉、空气洁净系统等，保证了整机系统的长期可靠性，实现单点寿命大于1000hrs，整机寿命大于20000hrs。

参选述说／理由：1．产品创新力该机器是基于窄线：宽连续红外1064nm激光器，采用独特的高效率倍频方式，得到窄线宽连目前，采用连续深紫外激光来对半导体（如晶圆、光罩等）进行缺陷检测的技术，已经成为主流技术。具体地，可以基于共振腔技术来提高四次谐波的转换效率以实现较高功率的输出。但该技术方案较为复杂，造价昂贵，系统较为敏感，对振动和温湿度要求较高，导致运输和使用条件苛刻且维护成本较高。而采用常规连续光腔外单通谐波的方式，由于转换效率较低，无法达到需求的较高功率。因此，如何在降低技术难度的同时可以保证转换效率，是亟待解决的技术问题。 有鉴于此，提出了一种连续深紫外激光装置及激光系统，可以在降低技术实现难度的同时提升转换效率续266输出的产品，不需要谐振倍频的苛刻应用环境，抗震性能优异，能实现高稳定性、低噪声，长寿命等应用需求。

2．推动行业发展价值：该产品的关键性能特点是：窄线宽，配备高精度功率负反馈以实现功率高稳输出，整机寿命大于20000hrs，可用于拉曼光谱分析激发光源，光罩及晶圆检测，晶圆量测等先进应用。

本届“维科杯·OFweek 2025激光行业年度评选”活动于6月2日开始进入火热的“网络投票及专家评选”阶段，这一阶段用户可登录活动官方网站，对入围参赛企业、产品进行投票；评委团将对入围名单进行多次讨论，并参考网络投票意见，审定最终获奖名单。

还犹豫什么，赶紧去参加吧！6月2日起，为心仪的企业及产品投票吧！