通快亮相上海光博会，无热损伤的量产利器：紫外飞秒激光解决方案

2026-02-06 14:36

（中国上海，2025年2月6日）全球领先的机床和激光技术方案提供商德国通快集团（TRUMPF）将在慕尼黑上海光博会（3 月 18－20 日）上展示超快激光技术TruMicro系列及其相关应用领域（展位号：N2 馆2406），并分享其在紫外飞秒激光、能量输出调控与可拓展技术平台等方面的领先优势。目前，该系列产品已获得多家面板与半导体行业头部厂商的量产应用认可。通快在超短脉冲激光领域的技术实力早已备受肯定——其超短脉冲激光技术曾荣获“德国未来奖”，其技术实力贯穿从前沿探索到量产应用的全过程。

明星产品：为量产而生的TruMicro 6320紫外飞秒激光器

通快TruMicro 6320专为全天候连续生产打造的紫外飞秒激光器，拥有全球范围内量产级紫外飞秒激光器中最高的出货记录。其稳定的高功率输出、超短脉宽与领先的紫外倍频技术，将热影响降到极低并实现无崩边加工，特别适用于晶圆表面划片与先进封装材料的精密切割，显著提高产能与良率。

图一：通快TruMicro 6320紫外飞秒激光器

核心技术：智能能量输出调控与精准光束整形

通快的核心竞争力之一在于其先进的能量输出控制策略。在时域控制方面，通快基于先进的激光器设计与控制系统，可实现最优化的能量施布策略。例如，在几十纳秒内快速激发多个脉冲，通过能量叠加效应实现高效加工；同时在空间层面，配合强大的光束整形技术，将激光能量集中并转化为符合工艺需求的光斑形态。例如，在玻璃芯封装基板成孔中，TruMicro将高斯光斑整形成细长“针状”光斑，从而在玻璃表面高效、精确地加工出纳米级孔洞，工艺稳定性与重复性出色。

图二：晶圆切割

强大支撑：可拓展平台

TruMicro系列涵盖光纤、碟片与板条放大等多种先进激光技术平台，具备高度可拓展性，可快速响应市场与客户不断发展的应用需求。通快还提供多种波长转换模块：倍频模块可将红外飞秒转换为绿光、紫外乃至深紫外；结合脉宽压缩与高次谐波（HHG）模块，更能生成13.5 nm极紫外光，适用于晶圆检测、光掩模检测等前沿应用领域。