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大族激光荣获“维科杯·OFweek2020年度激光行业精密激光设备技术创新奖”

由OFweek激光网承办的“OFweek2020(第十七届)先进激光技术应用峰会”于9月14日在上海西郊庄园丽笙大酒店圆满落幕,同期举行的还有“中国激光行业年度评选颁奖典礼”。今年评选共设立9大奖项,本着“公平、公正、公开”的原则,主办方投入了大量的时间和精力,经过数月的紧张评选,最终评选出47个奖项。

其中,大族激光科技产业集团股份有限公司凭借LED全自动激光剥离设备成功夺得“维科杯·OFweek2020年度激光行业精密激光设备技术创新奖”。

大族激光荣获“维科杯·OFweek2020年度激光行业精密激光设备技术创新奖”

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大族激光科技产业集团股份有限公司夺得“精密激光设备技术创新奖”

大族激光产品图片

据了解,大族激光自2016年来致力于激光剥离(Laser Lift Off,LLO)技术,针对GaN基micro-LED和垂直结构LED晶圆蓝宝石衬底的剥离,2018年成功研发并推出全自动LLO激光剥离设备。大族LLO设备推出打破国外设备垄断填补国内此类设备的空白。随着Micro LED行业的兴起,此款设备的重要性愈发明显。

激光剥离技术是使用光子能量介于蓝宝石带隙和GaN带隙之间的266nm高能脉冲激光束,对蓝宝石衬底与外延生长的GaN材料的交界面进行均匀扫描,将GaN分解形成液态Ga和氮气,从而几乎可以在不使用外力的情况下实现蓝宝石衬底的分离。本设备采用DPSS激光器,针对晶圆剥离专门设计一套外光路,可以实现高效高品质的剥离效果。

欲了解更多会议主题报告的精彩内容及颁奖盛况,敬请关注“OFweek2020(第十七届)先进激光技术应用峰会暨“维科杯”年度评选颁奖典礼”专题报道。


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