光学测厚仪有什么类型？

2021-08-19 09:37

薄膜材料该如何测量？厚度小于1微米的膜材料，被称为薄膜材料，我们要想测量它的厚度，可以使用光学测厚仪。下面笔者给大家介绍一下深圳市大成精密设备股份有限公司的光学干涉测厚仪，诸位可以通过典型应用、测量原理、产品性能／参数、测量特点四方面来充分了解它。

一、典型应用

光学膜涂布、太阳能晶圆、超薄玻璃、胶带、Mylar膜、OCA光学胶、光阻等测量。应用在涂胶工序时，该设备可放置于涂胶池后、烘箱前，在线测量涂胶的厚度；也可以在线测量离型膜涂布的厚度。其精度极高，应用甚广，尤其适合厚度要求达到纳米级的透明多层物体的厚度测量。

二、测量原理

利用红外光穿透物质时的吸收、反射、散射等效应实现无损非接触式测量薄膜类材料的厚度。

三、产品性能、参数

测量范围：0．1um～100um

测量精度：0．4％

测量重复性：±0．4nm（3a）

波长范围：380nm～1100nm

响应时间：5～500ms

测量光斑：1mm～30mm

动态扫描测量重复性：10nm

四、测量特点

1、在线实时扫描测量薄膜的厚度，实时反映生产过程中薄膜的厚度趋势，帮助调节生产设备，实现更稳定一致的生产；

2、可输出横向纵向趋势图、最大值、最小值、极差、CPK等统计参数；

3、高精密厚度测量，重复精度达0．4nm；

4、可同时检测多层材料厚度；

5、适用于光滑表面透明膜厚度测量。

总体而言，大成精密的光学干涉测厚仪精确度高，支持检测多种薄膜材料，可快捷输出统计参数，能帮助薄膜材料生产厂家大大提高检测速度、生产效率，因此如需进购该设备，厂家们可登录大成精密官方网站，与客服详谈。

大成精密：光学测厚仪有什么类型？

大成精密成立于2011年，如今经过十年的高速发展，他们已经成为集研发、生产、销售、服务于一体的锂电池生产设备方案供应商，一直专注于锂电检测和设备生产。在产品生产上，大成精密多年来一直坚持“让客户满意”的核心价值观，始终奉行产品质量高于一切的原则，严格依据ISO9001质量管理体系要求，通过品质管控流程输出稳定可靠的大成设备，为广大一线锂电池生产企业提供坚实可靠的检测保障。

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