里程碑！通快第200台EUV光刻机光源已发货

2022-02-15 10:18

这套系统的工作过程为：锡发生器每秒发射5万滴锡珠，通过真空室并被激光脉冲击中。当激光脉冲击中锡珠时，锡珠被电离并产生高强度的等离子体，同时发出波长为13.5nm的EUV光。随后收集器收集EUV光，并通过反射镜将其输送到光刻机上，对晶圆进行雕刻。

EUV激光系统由大约45万个零件组成，重约17吨，线缆长度超过7000米

图片来源：通快

为了产生能使锡珠电离的激光脉冲，德国通快集团基于其二氧化碳激光技术开发了一套独一无二的激光放大器，其核心组件包括高功率种子模块、高功率放大链路、光束传输系统、光学平台FFA等。在五个放大阶段中，该设备可提升一个较弱的激光脉冲超过10000次，输出的激光脉冲超过3万瓦的平均脉冲功率，脉冲峰值功率可以高达为几兆瓦。

布局16年通快成EUV光刻机光源独门供应商

实际上，通快在光刻激光发生系统上的投入已超过16年。早在2005年，通快便开始与全球领先的准分子激光器厂商——美国Cymer公司合作，并在2013年ASML收购Cymer公司后继续保持合作关系。在这段时间里，通快为此专门成立了一个独立的子公司——通快半导体制造激光系统公司（TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing），该子公司拥有超过500名员工，专门负责开发和生产EUV激光器。

2015年，ASML向通快订购了15台EUV光刻工具。自那以后，EUV光刻业务成了通快发展的重心之一，2016年至今的历年财报均强调EUV业务为通快集团业务作出了重大贡献。2017年，通快宣布成功收购Access Laser 85％的股权，后者建立早期专注研发CO₂激光器，利用在定制激光器方面的强大知识，于2012年成为EUV市场的核心供应商。收购完成后，通快迅速加强EUV相关设备研发，一举成为ASML EUV光刻机光源的独门供应商。

凭借在 EUV 极紫外光刻方面的突出贡献，通快于2020年荣获了德国科学成就领域最高荣誉——德国未来奖，该奖项旨在表彰在技术、工程和生命科学领域取得的特殊成就。2020 年 11 月 25 日，德意志联邦总统弗兰克－瓦尔特－施泰因迈尔在柏林维尔蒂音乐厅向通快颁发了该奖项。