“维科杯·OFweek2022激光行业年度评选”由高科技行业门户OFweek维科网主办，OFweek维科网·激光承办，活动旨在表彰激光行业具有突出贡献的优秀产品、技术及企业、人物，鼓励更多企业投入技术创新，同时为行业输送更多创新产品、前沿技术；以提高生产力、经济效益；给用户提供更大便利；引导行业良性快速发展。

本次评选活动2022年8月10日－8月20日为网络投票阶段，并将于9月27日在中国·深圳举行盛大的颁奖典礼。

目前，活动正处于火热的报名申报阶段，业内企业均积极响应。目前，英诺激光科技股份有限公司已经正式参评“维科杯·OFweek2022年度激光行业固体／超快激光器技术创新奖”。

参选产品名称： AMT－266－3W－70MHZ 皮秒激光器

产品推出年份／开发背景：2021 年推出 AMT－266－3W－70MHZ 皮秒激光器。晶圆缺陷检测是发展芯片技术至关重要的一环，当前国产芯片节点正向 28 nm 以下推进，相应的芯片晶圆缺陷检测需在空间分辨、灵敏度和效率等方面加以提升。发展高重频、高功率深紫外激光是提升亚 28nm 芯片晶圆缺陷检测水平的重要发展方向。高重频高功率深紫外超快激光器是晶圆缺陷检测装备的核心部件，长期被国外垄断，并且面临被卡脖子风险。

产品扼要说明： 

 1． 高端应用：AMT－266 皮秒激光器可输出深紫外波长 266nm，主要应用于 28nm 及以下节点制程的芯片缺陷检测，助力半导体检测装备国产化，也可应用于大口径光学元件表面形貌检测、高分子材料切割和高密度信息存储等领域。 

2． AMT－266 皮秒激光器基于长寿命高重频超快锁模技术开发平台，实现高功率深紫外稳定输出，长期稳定可靠，单点寿命大于 1000hrs，整机寿命大于 20000hrs，满足半导体工业的应用标准。

 3． 关键指标达到国际一流水平：通过行业领先的倍频技术，光束质量 M 平方因子＜1．2，可靠的功率稳定性＜3 ％，卓越的光斑圆度（＞90％），可实现优异的激光加工质量。 

4． AMT－266 皮秒激光器采用水冷冷却方式，腔体机构坚固，整机防应力设计充分，是性能和稳定性的完美结合，适合各种高挑战性应用场景。

其设计应用或创新的关键点：

1． AMT－266－3W－70MHZ 可输出深紫外波长 266nm，功率高达 3W。高功率、高重频、深紫外输出，提高了检测应用的空间分辨率、灵敏度和效率，符合 28nm 及以下节点芯片制程的晶圆缺陷检测需求。

 2． AMT－266 皮秒激光器拥有全新设计的光学系统，使得关键指标光束质量达到国际一流水平：M 平方因子＜1．2 和卓越的光斑圆度（＞90％） 

 3． AMT－266 皮秒激光器激光器有四倍频换点功能，先进的换点技术能保证换点后光束质量、光斑大小 、光束指向性不变，延长晶体使用寿命，提高机器稳定性。

 4． AMT－266 皮秒激光器拥有自研高性能高可靠性的核心模块，如超快种子源、非线性晶体的高温加热炉等，保证了整机系统的长期可靠性，实现单点寿命大于 1000hrs，整机寿命大于 2000hrs。超快种子源为高重频、全光纤结构、窄线宽、稳定可靠、长寿命的锁模种子源；非线性晶体的高温加热炉为高灵敏度、自动补偿反馈系统、稳定可靠的高温加热装置。 

 5． AMT－266 皮秒激光器由空气洁净系统，可以对腔内进行清洁，延长晶体使用寿命，空气洁净系统维护、更换方便。

参选述说／理由：   AMT－266－3W －70MHz 是英诺激光科技股份有限公司于 2021 年推出的高重频高功率深紫外皮秒超快激光器，性能指标达到国际领先水平，长期稳定可靠，是成熟的工业级产品；主要应用于28nm 及以下节点的晶圆缺陷检测，是芯片制程中晶圆缺陷检测装备的核心部件，率先打破国外在深紫外激光领域的垄断，实现国产替代，解决“卡脖子”问题，在撬动芯片检测这一超百亿规模市场的同时，推动我国半导体和集成电路产业的升级，助力提升国家高端制造能力。

本届“维科杯·OFweek2022激光行业年度评选”活动于8月10日开始进入火热的“网络投票及专家评选”阶段，这一阶段用户可登录活动官方网站，对入围参赛企业、产品进行投票；评委团将对入围名单进行多次讨论，并参考网络投票意见，审定最终获奖名单。

还犹豫什么，赶紧去参加吧！8月10日起，为心仪的企业及产品投票吧！