英诺激光荣获“维科杯”OFweek2022年度超快激光器技术创新奖

2022-11-14 18:11

由高科技行业门户OFweek维科网主办、OFweek维科网·激光承办的“维科杯·OFweek2022激光行业年度评选”于11月14日在中国·深圳举办。今年评选共设立9大奖项，本着“公平、公正、公开”的原则，主办方投入了大量的时间和精力，经过数月的紧张评选，最终评选出47个奖项。

其中，英诺激光科技股份有限公司脱颖而出，成功夺得“维科杯”OFweek2022年度超快激光器技术创新奖。

AMT－266－3W－70MHZ 皮秒激光器

1．高端应用：AMT－266 皮秒激光器可输出深紫外波长 266nm，主要应用于 28nm 及以下节点制程的芯片缺陷检测，助力半导体检测装备国产化，也可应用于大口径光学元件表面形貌检测、高分子材料切割和高密度信息存储等领域。

2． AMT－266 皮秒激光器基于长寿命高重频超快锁模技术开发平台，实现高功率深紫外稳定输出，长期稳定可靠，单点寿命大于 1000hrs，整机寿命大于 20000hrs，满足半导体工业的应用标准。

3．关键指标达到国际一流水平：通过行业领先的倍频技术，光束质量 M 平方因子＜1．2，可靠的功率稳定性＜3 ％，卓越的光斑圆度（＞90％），可实现优异的激光加工质量。

4． AMT－266 皮秒激光器采用水冷冷却方式，腔体机构坚固，整机防应力设计充分，是性能和稳定性的完美结合，适合各种高挑战性应用场景。

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