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英诺激光荣获“维科杯”OFweek2022年度超快激光器技术创新奖

由高科技行业门户OFweek维科网主办、OFweek维科网·激光承办的“维科杯·OFweek2022激光行业年度评选”于11月14日在中国·深圳举。今年评选共设立9大奖项,本着“公平、公正、公开”的原则,主办方投入了大量的时间和精力,经过数月的紧张评选,最终评选出47个奖项。

其中,英诺激光科技股份有限公司脱颖而出,成功夺得“维科杯”OFweek2022年度超快激光器技术创新奖。

AMT-266-3W-70MHZ 皮秒激光器

1. 高端应用:AMT-266 皮秒激光器可输出深紫外波长 266nm,主要应用于 28nm 及以下节点制程的芯片缺陷检测,助力半导体检测装备国产化,也可应用于大口径光学元件表面形貌检测、高分子材料切割和高密度信息存储等领域。

2. AMT-266 皮秒激光器基于长寿命高重频超快锁模技术开发平台,实现高功率深紫外稳定输出,长期稳定可靠,单点寿命大于 1000hrs,整机寿命大于 20000hrs,满足半导体工业的应用标准。

3. 关键指标达到国际一流水平:通过行业领先的倍频技术,光束质量 M 平方因子<1.2,可靠的功率稳定性<3 %,卓越的光斑圆度(>90%),可实现优异的激光加工质量。

4. AMT-266 皮秒激光器采用水冷冷却方式,腔体机构坚固,整机防应力设计充分,是性能和稳定性的完美结合,适合各种高挑战性应用场景。


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