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英特尔安装首台EUV制造工具,能发射比太阳还热的激光

芯片大厂英特尔宣布,已经完成了世界上第一台商用高数值孔径(NA )极紫外光刻( EUV)扫描仪的组装工作。该设备通过改变用于将印刷图像投射到硅片上的光学设计,极大提高了下一代芯片的分辨率和特征缩放比例。

这台重达150吨的光刻设备,已经在希尔斯伯勒的英特尔D1X研究工厂内完成组装,目前正在进行校准步骤。它使芯片制造商能够在硅片上刻印微小的图案,从而为计算机芯片制造微型电路。

荷兰公司ASML是世界上唯一一家制造这种工具的公司。英特尔的型号是世界上仅有的两种型号之一。

英特尔工厂里的工人以一身白色著称,他们通常从头到脚都穿着“兔子服”(Bunny Suit)。这里的兔子服指的就是“洁净室套装”,是洁净室内工作人员的标准装备,可以防止皮肤、头发或衣服上的颗粒破坏计算机芯片上的微观特征。

在英特尔(Intel)位于希尔斯伯勒(Hillsboro)的大型研究工厂,另一件配件最近变得司空见惯:安全帽。

英特尔工厂的工人花了几个月的时间,组装了一个巨大的制造工具,重达150公吨。它是现存最先进的光刻工具,是世界上仅有的两款之一,由荷兰公司ASML制造。

这个巨大的设备被称为高数值孔径(NA) EUV制造工具。它的大小相当于工厂里的一辆双层巴士,但你看到的只是整体的一部分。该工具实际上还能延伸到天花板上方和地板下方。

从那里,EUV(极紫外)工具向微小的锡液滴发射激光,每秒发射5万次,能量爆发比太阳表面热40倍。由此产生的碰撞,产生了一种紫外线的阴影,这在地球上是不会自然发生的。

这个非常大的生产工具,因此产生了非常小的东西:波长只有几十亿分之一米的光。这些微小的光波,使半导体制造商能够在计算机芯片上刻印比以往任何时候都小的分辨率,为一代又一代更强大的计算机铺平道路。

“我们正在物理学的最前沿进行创新,”帮助领导公司技术开发的英特尔副总裁Jeff Birdsall表示。

众所周知,英特尔对其制造技术守口如瓶。这次它在一场销售活动中展示了自己的新玩具。本月,该公司邀请了记者——甚至包括BBC新闻摄制组——进入其希尔斯伯勒工厂,向公众和潜在客户推销英特尔的转型故事,展示了一种其竞争对手尚未拥有的制造工具。

英特尔的技术在过去十年中严重偏离轨道,部分原因是该公司在其工厂中采用首批EUV工具的速度很慢。这使得亚洲的竞争对手能够遥遥领先,而英特尔则需要付出高昂的代价,才能迎头赶上。

英特尔现在已经承诺,在世界各地投资1000亿美元建设先进的工厂。其中包括360亿美元用于升级希尔斯伯勒(Hillsboro complex)工厂,英特尔在这里开发新一代芯片技术,也就是英特尔所说的新工艺节点。

英特尔俄勒冈研究工厂的1万名工程师和技术人员,正在把这笔钱投入工作,而新的光刻工具是这项工作的核心。每台EUV机器的成本接近4亿美元,英特尔将需要许多这样的机器,来装备其俄勒冈工厂和其他分布在全球各地的工厂。

英特尔在新的光刻工具上还有几个月的工作要做,测试它的功能并学习如何使用。第一批使用更先进技术的商用芯片至少在两年内不会上市。

英特尔正大举押注于更小的电路,押注其工程师完善新一代技术时,客户和投资者会有耐心。英特尔表示,可能要两三年后才能开始用这台机器生产芯片。它们将被称为“14A”芯片,被誉为世界上最先进的芯片之一,预计将用于人工智能等领域。



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