DUV
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【聚焦】深紫外全固态激光器(DUV-DPL)研制难度大 我国是全球唯一生产国
深紫外全固态激光器具有线宽窄、光子能量高、光子流密度大、光束质量高、方向性好、可靠性强、体积小等特征,可以输出低重频至高重频、纳秒、皮秒、飞秒激光。 深紫外全固态激光器,也称为深紫外全固态激光光
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康奈尔大学开发出DUV光半导体激光器,可实现多种应用
康奈尔大学的研究人员成功演示了一种光泵浦的铝氮化镓(AlGaN)基多模激光器,该激光器能够以低模态线宽和波长低于300 nm的波长发出深紫外(DUV)光。这种DUV发射器可用于病原体检测和灭菌、水净化、气敏、光刻、量子计算与计量。
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Gigaphoton发布新的DUV光源产品规划图
半导体光刻光源的主要供应商Gigaphoton株式会社宣布,为提高设备的工作效率,公司将制定新的产品规划图,以应对需求量不断高涨的半导体厂家的要求。
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