2012年5月激光行业先进技术汇总

2012-06-04 15:04

　　5.皮秒激光驱动新型高科技设备

　　现在高精尖设备已经往体积小、质量轻和材料成本低发展，这就要求企业不断的提高产品的开发能力。目前，高科技行业创新的坚定步伐已让超速（皮秒）工业激光成为高精密度应用的重要利器。这类激光独特的运行机制（兆瓦峰值功率）使得像敏感材料图样、薄膜、宽带隙以及玻璃等"硬性"材料的精密加工成为可能。如今，皮秒激光正使用单步直写成型激光工序取代多步光刻技术，并取代了传统切割/钻孔工序，减少了传统切割产生的后期精密加工的步骤。因为能够使用近红外、绿光或紫外线输出，所以激光几乎能精密加工市场上任何的新技术材料。

　　OLED有机电激光显示拥有许多天生的优势，如质量轻、体型小和透明度高，尤其是具有强大的照明功能，并且它比其他用于背光照明和普通照明的显示设备更节能。一个OLED的结构由一层薄而透明的具有半导体特性的铟锡氧化物(ITO)、有机发光层、发光聚合物(LEP)和夹在正负极之间的物质构成。

　　对于这类技术，紫外线(355 nm)毫微秒激光具有两大不足，这已经在众多其他电子精密加工应用中得到证实。第一，紫外线(355 nm)毫微秒激光产生一些融化材料或残渣，因为材料的厚度只有约100 nm，所以这种情况不能容许。第二，下层极难得到保护，因为毫微秒激光脉冲的热量穿透深度大于层的厚度。相比之下，皮秒激光能做到无残渣图样和选择性深度控制。因为在材料对热量做出反应之前，材料已被移走。然而，为了达到选择性去除薄膜的目的，保持激光能量密度靠近激光刻蚀阀尤为重要。数量能通过绘制单脉冲激光直径和脉冲能量之间的曲线拟合进行统计。

　　相关链接：皮秒激光驱动新型高科技设备