深紫外激光在光电子能谱技术中的应用，为光电子能谱技术的发展开辟了一个新的途径。在中科院物理所2006年成功研制的国际第一台超高能量分辨率角分辨光电子能谱仪中，通过使用真空紫外激光这一新的光源，实现了能量分辨率优于1meV的梦想，获得的激光强度比现有的同步辐射光源提高了2-3个量级，采用真空紫外激光对应的样品探测深度比通常的同步辐射提高一个量级，解决了长期困扰光电子能谱技术的表面敏感问题，把已有的光电子能谱技术提升到一个新的水平。同时，深紫外光源在建设成本和运行费用上，显著低于同步辐射光源的开支，为光电子能谱技术的普及和推广创造了条件。基于此，利用具有完全自主知识产权的深紫外激光光源技术，在2007年设立的国家重大科研装备“深紫外固态激光源前沿装备研制”中，由中科院物理所牵头开展了“基于深紫外激光的同时具有自旋分辨和角分辨功能的高分辨光电子能谱仪研制”、“光子能量连续可调深紫外激光光电子能谱仪研制”、“基于飞行时间能量分析器的深紫外激光角分辨光电子能谱仪研制”等深紫外固态激光源光电子能谱仪系列装备的研制工作。

　　2012年4月18日，中科院计划财务局组织专家对上述3个项目进行验收，验收专家一致认为：

　　“基于深紫外激光的同时具有自旋分辨和角分辨功能的高分辨光电子能谱仪研制”项目首次将我国科学家自主研制的深紫外激光光源应用于自旋分辨(角分辨光电子能谱技术中，利用深紫外激光的超高能量分辨率、超高光束流强度等特点，获得了2.5meV的自旋分辨能量分辨率，这是目前国际上报道的最高水平。另外，在自旋分辨(角分辨光电子能谱系统中，安装了两个莫特型自旋探测器，从而可以实现同时测量x，y，z三个方向的电子自旋极化。该系统还具有激光偏振可调（线偏振可调和圆(椭圆偏振可调），样品极低温，样品原位处理和制备等功能，是一套具有独特性能的世界领先的角分辨(自旋分辨光电子能谱系统。该仪器的研制成功，将为与自旋相关的先进材料和凝聚态物理领域的研究提供又一个新的非常重要的手段。

　　“光子能量连续可调深紫外激光光电子能谱仪研制”首次将自主研制的光子能量连续可调的深紫外激光光源应用于角分辨光电子能谱技术中，实现激光在175-210nm（对应激光光子能量7.09-5.90eV）连续可调，从单一光子能量发展到光子能量连续可调，除了保持激光角分辨光电子能谱仪的超高能量分辨率，超高光束流强度和对体效应敏感等独特优势外，一方面将有利于获得材料更丰富的电子结构信息，另一方面将大大增加可研究材料的种类。该项目的实施是我国自主研发高精尖仪器的又一个成功范例，属于源头创新工作。

　　“基于飞行时间能量分析器的深紫外激光角分辨光电子能谱仪研制”项目首次将我国科学家自主研制的真空紫外激光光源（6.994eV）应用于基于最新一代飞行时间电子能量分析器的角分辨光电子能谱仪中，使角分辨光电子能谱技术从目前广泛使用的动量空间的一维探测发展到二维探测，除了保持激光角分辨光电子能谱仪的超高能量分辨率、超高光束流强度和对体态敏感等独特优势外，还使动量空间的探测效率提高了200倍以上，成为具有国际领先性能的激光光电子能谱系统。

　　2、基于深紫外激光的同时具有自旋分辨和角分辨功能的高分辨光电子能谱仪

　　光电子能谱技术在过去十几年中迅猛发展，如能量分辨率由（20-40）meV发展到（5-10）eV，角度分辨率由原来的2度发展到0.2度。这些显著进步，把角分辨光电子能谱这一传统的能带测量工具，上升为研究材料中多体相互作用的重要实验手段，并在高温超导体和其他先进材料的研究中获得了一系列新的发现。但随着对先进材料和相关物理问题研究的不断深入，对光电子能谱仪技术性能的要求也越来越高，现有光电子能谱技术在超高能量分辨率、信号体效应的增强等一些关键性能上亟待进一步改进。