IPG Photonics推出新型UV激光微加工系统

2013-06-21 00:06

　　——世界领先的大功率光纤激光器和光纤放大器制造商IPG Photonics Corporation近日推出了其新型IX-255 UV激光微加工系统，这是一款多功能、适用于研发和小规模生产应用的先进、高度灵活的系统。该系统可提供高达25 J/cm2、适用于陶瓷钻孔的光束功率密度，也可提供用于大范围加工如保护涂层移除、绝缘层剥除和退火等应用所需的低功率密度。用户还可对其光束形状进行编程，以用于一般用途的图案形成、切割和机械加工。

　　IX-255系统是完全联锁的，其1级工作站建在花岗岩底座和支撑结构上，振动小；通过双显微镜视觉系统实现部件自动化对齐和检查来保障热稳定性。该工作站集成了IPG Photonics Corporation公司UV激光器专利技术。系统软件内建了宏构建工具，可实现复杂特性加工的快速编程和工艺自动生成，同时允许通过标准的CSV、DXF文件输入复杂图案。

　　IX-255产品的应用范围包括陶瓷材料的激光钻孔和切割、微流体设备的图案成形以及聚合物低锥角孔的机械加工。该系统可用于微电子加工，例如导体的3D微加工、玻璃钻孔和切割、选择性材料移除（接触垫曝光）和切边。在大区域曝光模式下，该系统可用于半导体、电子连接器和生物医学设备的表面退火应用。

新型UV激光微加工系统

　　为便于精确控制剂量，IX-255可配备选配的扩展均束器，从而可以在增强光束一致性的同时提供高达两倍的系统输送量（对于大视场曝光应用）。

　　IPG微系统子公司总裁Jeffrey Sercel表示，"IX-255系统主要针对于极为精密的显微机械加工、先进材料加工开发和小功率制造，可轻松将全面的IPG微系统工业级聚束和微加工功能集于一个激光器工作站中，满足客户长期以来的集成愿望。IX-255使用高脉冲能量UV激光器、可互换的光束传输元件和完全集成的软件，超高灵活性使其成为最理想的一般用途激光微加工工具"。

Viki译 Alex校对