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激光技术获科技部973计划A类项目立项

2013-07-10 09:46
来源: 激光网

  2、罗先刚

  罗先刚博士,研究员,博士生导师,中科院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室主任,所学术委员会委员,所学位委员会委员。国家杰出青年科学基金获得者。2004年中科院“百人计划”入选者,国家973项目首席科学家,四川省科技青年联合会第四届理事会副主席。2009年入选由人力资源和社会保障部、科学技术部、教育部等七部门联合评选的 “新世纪百千万人才工程”国家级人选。先后参加和主持完成了包括国家重大科学基础研究、中国科学院院长基金、中科院知识创新、 国家自然科学基金等项目在内的多项国家级课题的研究工作以及国际合作研究课题。主要研究方向包括微纳光刻技术,表面等离子体光学,亚波长人工结构材料和器件,仿生光子器件及系统等方面等方面。发表SCI收录论文100余篇,研究成果获四川省科技进步一等奖2项。

  主要研究成果:

  1、提出并实验验证了SP(Surface Plasmon)超分辨成像光刻的原理和方法。通过研究表面等离子体短波长传输、倏逝波耦合放大现象,建立了SP超衍射材料的数理模型;提出了具有超衍射功能的成像器件的设计方法,完成了缩小倍率SP成像器件光刻实验验证,在365nm波长下获得了40nm线宽光刻结果;针对SP光刻焦深浅、对比度低的问题,建立了高深宽比SP光刻辅助工艺,获得深宽比3:1、陡直度80°的结果。此项研究成果被SCIENCE综述文章列为近年来表面等离子体激元学的五个方向之一。所提出的光刻方法被REVIEWS OF MODERN PHYSICS综述文章认为是“替代复杂而昂贵的传统光刻的可行途径之一”。

  2、提出在亚波长尺度下调控电磁波位相的思路,给出了亚波长结构电磁功能器件的设计原理和方法,设计出一系列波长量级尺寸、高数值孔径、高折光能力、亚波长分辨力的亚波长结构电磁器件。完成了方向系数高达1020的亚波长结构天线。通过对SP金属结构温度特性研究,在100K到50K低温范围内,提高了轻量化成像系统的成像质量。此项研究成果获2010年四川省科技进步奖一等奖。

  3、在国际上首次提出将表面等离子体引入到光学、光刻领域,克服了传统成像光刻中由于形象等离子波,提出将表面等离子体波引入到光学光刻领域,克服了传统成像光刻中由于携带物理细节高频信息,随着空间距离的延伸,由于衰减,而无法参与成像过程的局限性,成功地突破了演示局限,建立了一条远射极限的新的光学光刻技术路线,表面等离子体光学光科,这一成果受到了国际科技界和企业界的重视,并评价为突破22纳米以下,甚至10纳米光刻节点,提供一种全新的可能的技术手段。

  4、罗发现了纳米双控干涉与经典样式双控干涉存在着不同的分布,并且发现适当的改变纳米缝合孔的大小不仅能够精确有效突破演示极限的传播,并且能够调制表面离子波的微像,甚至还能够通过改变磁辐射单元之间的距离,从而形成新的表面等电子波的辐射面,利用这些发现,发展了不同波段的高分辨率轻量化光学成像技术,成功解决了天线和成像观测领域分辨能力受系统口径限制的传统技术瓶颈,为高分辨率、轻小型探测系统的发展提供了重要的技术基础,对国防和信息领域产生了重大的应用成果。

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