项目概况

东南大学微纳系统国际创新中心无掩膜激光直写光刻机采购 招标项目的潜在投标人应在南京市建邺区新城科技园嘉陵江东街8号综合体B3栋16层获取招标文件，并于2021年11月05日 14点30分（北京时间）前递交投标文件。

一、项目基本情况

项目编号：JSHC－2021090615C6

项目名称：东南大学微纳系统国际创新中心无掩膜激光直写光刻机采购

预算金额：504．0000000 万元（人民币）

采购需求：

东南大学微纳系统国际创新中心采购无掩膜激光直写光刻机一台（套），主要技术要求如下：

1．设备组成：1、温控防尘罩；2、高精密透镜模块及DMD模块；3、半导体激光器（Diode Laser）；4、工作平台装置；5、定位激光干涉仪；6、主机电器控制装置；7、图形转换软件及系统操作计算机；8、大理石或花岗岩机座及气浮减震装置。

2．须具备两种不同波长的光源；曝光用光源及波长：（1） 405nm Diode Laser；（2） 375nm UV Diode Laser。

3．直写速度：在100×100mm的刻写幅面下，须达到≤35 min；可进行128阶灰度曝光；配置高深宽比模块，透过调整聚焦深度，以优化膜厚较厚的光刻胶侧壁粗造度；配置单元图形对准功能，对晶圆上的各个单元图形进行逐一对准，并对每个单元图形进行逐一曝光。

最大直写面积≥ 200mm x 200mm；配置背向对准功能，背向对准精度≤1000nm。

合同履行期限：详见采购文件

本项目（ 不接受  ）联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1．满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2．落实政府采购政策需满足的资格要求：

非专门面向中小企业、监狱企业、残疾人福利性单位采购的项目。

3．本项目的特定资格要求：无

三、获取招标文件

时间：2021年10月14日  至 2021年10月20日，每天上午9：00至11：30，下午13：30至17：00。（北京时间，法定节假日除外）

地点：南京市建邺区新城科技园嘉陵江东街8号综合体B3栋16层

方式：获取采购文件须提供的资料：加盖公章的授权委托书原件或扫描件、加盖公章的被委托人身份证复印件或扫描件，及汇款凭据的截图。

售价：￥600．0 元，本公告包含的招标文件售价总和

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间：2021年11月05日 14点30分（北京时间）

开标时间：2021年11月05日 14点30分（北京时间）

地点：南京市建邺区新城科技园嘉陵江东街8号综合体B3栋16层开标大厅

五、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。

六、其他补充事宜

凡参加投标的相关人员，应在投标截止时间前完成以下程序：

（1）所有人员必须提供苏康码的绿色健康码才能进入会场；

（2）进入开标大厅时必须佩戴口罩，不得随意走动。

七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。

1．采购人信息

名 称：东南大学

地址：南京市四牌楼2号

2．采购代理机构信息

名 称：江苏省华采招标有限公司

地　址：南京市建邺区新城科技园嘉陵江东街8号综合体B3栋16层

3．项目联系方式

项目联系人：陶工／张工