梅曼激光在高功率紫外激光器方面取得重要突破

2022-08-01 15:18

高功率紫外激光器广泛应用于晶圆刻划、陶瓷衬底切割、硅基衬底的打孔、柔性电路板切割等诸多领域。随着加工精细度及生产效率的不断提高，对紫外激光器的光束质量、输出功率及稳定性要求越来越高。梅曼激光长期致力于激光技术的开发和创新，尤其在高功率紫外激光器方面做了大量的创新性和开创性工作，开发出了高功率、高光束质量、高稳定性的紫外激光器，满足激光微加工的需求。

梅曼激光通过对紫外激光器技术的深入研究，总结出了影响紫外激光器功率提升和长期稳定性的三大因素，包括激光器的热效应、三倍频晶体的损伤、光路的失调与长期稳定性，通过解决这三个方面的技术瓶颈，大大提高紫外激光器的性能，从而实现高功率、高光束质量、高稳定性的紫外激光器。

高功率紫外，有效解决功率衰减，并拥有优越的光束质量和脉冲稳定性，使用无忧

（光斑轮廓图）

（M²测试图）

（功率稳定性）

在激光器的热效应，梅曼激光在国内率先开展了波长锁定激光二极管共振泵浦技术，通过对不同晶体参数（掺杂浓度、温度、长度）以及泵浦参数（浦功率密度和模式匹配）的优化，有效的降低了激光器的热效应，增加了振荡光的模体积，提高了基频光的光光转换效率和光束质量，为实现高功率的紫外激光输出供强有力的前提条件。

在三倍频晶体抗损伤方面，梅曼激光合理设计了激光谐振腔，使其在满足模式匹配条件的同时降低三倍频晶体端面的光功率密度，提高紫外激光器输出功率上限。同时采用腔内气体微循环系统和腔内去非金属化技术，对腔内产生的挥发物进行有效控制，提高了三倍频晶体的使用寿命。

在光路的失调和长期稳定性方面，梅曼激光采用独有的光路补偿技术和对谐振腔的优化，降低光学谐振腔的失调灵敏度，提高光路的自身稳定性，在机械结构方面，通过对激光器壳体及光学机械零件的力学分析和计算，设计出了高稳定性的光学机械结构，并通过特殊的加工方式及热处理方案降低材料的形变量，保证激光器的长期稳定性。

梅曼激光通过对高功率紫外激光器多维度的技术攻关，研制出高功率、高光束质量、高稳定性的30W级、长寿命355nm紫外激光器，该激光器可以满足7x24h的高强度使用环境并能够保持长期的稳定性，可以广泛应用于激光微加工领域。

梅曼激光凭借强大的创新能力，赢得了良好的市场口碑和广泛的客户基础，产品涵盖了从红外到紫外，从连续到脉冲多种激光器产品，公司本着科技创新，产业报国的理念，止于至善的工匠精神，一步一个脚印的踏实发展，做好每一款产品，服务每一个客户。

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