【聚焦】KBBF晶体可产生深紫外激光我国技术处于全球领先地位

2022-10-28 10:21

氟代硼铍酸钾晶体，英文简称KBBF。KBBF晶体是一种非线性光学晶体（NLO），可将普通激光转化为176nm深紫外波长的激光。KBBF晶体是目前市场中唯一能够直接倍频产生深紫外激光的非线性光学晶体材料，在全球市场上，我国KBBF晶体研发、生产技术处于领先地位。

根据新思界产业研究中心发布的《2022－2027年中国KBBF晶体（氟代硼铍酸钾晶体）行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，20世纪90年代初，我国最先发现具有非线性光学特性的KBBF晶体，其在紫外线波段范围内的性能优于当时已发现的所有晶体材料，并且率先生长制得大尺寸KBBF晶体，实现商业化生产。KBBF晶体是我国继BBO晶体、LBO晶体之后，研制出的第三种非线性光学晶体。

早期，我国向全球市场供应KBBF晶体。由于拥有特殊性能，KBBF晶体在科研、工业、国防、军工等领域均有广阔需求，具有重要战略意义，2009年我国停止KBBF晶体对外出口。直到2016年，美国才研制出KBBF晶体，而当时我国已经研制出KBBF晶体的升级产品LSBO晶体。由此可见，我国KBBF晶体技术处于全球领先地位。

KBBF晶体主要用来制造深紫外激光器。深紫外激光具有波长短的特点，利用深紫外激光器可以进行高精度加工，在工业领域广泛应用在半导体、仪器仪表、激光加工设备等领域。2013年，我国研制的全球首个深紫外固态激光器通过验收，成为当时全球唯一能够制造实用化深紫外全固态激光器的国家。

光刻机是深紫外激光器的高端应用市场，可用来制造DUV光刻机（深紫外光刻机），深紫外激光器是DUV光刻机的核心组成部分。DUV光刻机主要用来制造45－10nm芯片，目前我国市场需求完全依靠从荷兰ASML公司进口，而美国对荷兰施压，试图禁止ASML公司向我国出口DUV光刻机。在此背景下，我国必须实现DUV光刻机自主生产。KBBF晶体是深紫外激光器的核心组成部分，我国技术全球领先，为DUV光刻机行业发展奠定坚实基础。

新思界行业分析人士表示，KBBF晶体也存在弊端，其成分中含有金属铍，有剧毒，且晶体层状生长习性严重，性能优于KBBF晶体且安全性更高的新型晶体材料还在不断开发。我国研制出LSBO晶体，也是一种深紫外非线性光学晶体，其成分中不含金属铍，制备工艺相对简单，有望替代KBBF晶体使用。短期来看，KBBF晶体工艺成熟、产品性质稳定，在较多应用领域仍具有较强的不可替代性，未来市场前景良好。

原文标题 : 【聚焦】KBBF晶体可产生深紫外激光我国技术处于全球领先地位