超声波液位传感器在涂胶显影机进液系统中的应用

2023-05-11 11:56

在半导体的生产过程中，涂胶显影机应用于半导体制造的光刻工艺中，是感光剂(photoresist)的涂布(coat)和显影(develop)的设备。涂胶显影机组有多个系统模块组成，其中化学品柜进液系统是涂胶显影的重要组成部分，目前的系统相关主要零部件主要由，罐体、真空发生器、电磁传感器、电磁阀、稀释剂、管路等在零部件组成。在该设备的涂胶（coat）单元中，硅片上面的感光剂首先被涂布，后被送到曝光设备里，通过光刻机将MASK上面图形投影到硅片上。

硅片回到涂胶显影机的显影单元中，通过对硅片表面感光胶喷涂显影液，使被感光部分的感光剂融化，这样wafer上就出现了凹凸的图形。经过各种工序重复,最终就形成了细微而复杂的集成电路。而在现有的设备装配完成后，只能通过涂胶显影设备机组进行联合调试、来确定进液系统是否可以正常工作，无法提前确定进液系统的质量能否达到技术要求。因此会大大增加设备联合调试的工作量降低了生产速率。

为确定进液系统工采网推荐使用超声波液位传感器监测。超声波液位传感器属于阈值传感器，通过检测探头的感应间隙中是否存在液体来产生信号。超声波信号在间隙中传输，而液位检测依赖于信号衰减差异，当液体填满间隙时衰减极低。检测器收到有效信号时，传感器将产生输出信号，指示间隙中存在液体。该类型传感器适合泵保护、油膜检测或切断系统等应用。工采网提供的美国SENIX ToughSonic-50 超声波液位传感器 - TSPC-21S/21SRM/25P的检测距离为50英尺（15.2米）。像所有韧性传感器一样，它们的耐用性和易用性在恶劣的工业环境中使用。ToughSonic 50s完全可以浸入，耐腐蚀，抗冲击和强韧。它们也可以用SenixVIEW软件完全配置。