Coherent推出50W紫外飞秒激光器，用于切割SiC晶圆和堆叠OLED显示器

2023-06-09 11:35

日前，材料加工工业激光器领域领导者Coherent宣布推出一款新的工业紫外（UV）飞秒激光器——Monaco，输出功率为50 W，非常适合高速、大批量切割晶圆和堆叠OLED显示器。

移动和下一代芯片的晶圆开槽和显示堆栈精密切割等应用的快速增长，加速了对具有更高输出功率的激光工具的需求，这些激光工具可以高速、高精度地加工此类材料。

据介绍，Monaco 345－25－50是第一款具有工业级性能的50W 400 fs紫外激光器，可实现高精度切割，并且具有完美的装配配合。

激光器提供能量高达25μJ的脉冲，在紫外线中重复频率高达2 MHz，脉冲宽度低于400 fs。它包括Monaco平台的所有标准功能，包括脉冲按需、可变脉冲宽度调谐、可变重复率和灵活的播种机突发模式。

Coherent北美地区微电子和仪器部门高级副总裁Allan Ashmead表示：“我们的Monaco 345－25－50是我们非常成功的Monaco工业激光平台的最新成员，代表了市场上最小的50 W飞秒激光器。Monaco产品线经过了现场验证，在全球各地的工厂安装了800多个系统，每周7天全天候运行，大规模生产医疗设备以及用于领先消费应用的OLED显示器。”

继最近推出的新型高功率和高能量Monaco 1035-150－150红外激光器之后，Monaco 345－25－50将进一步扩展Coherent的Monaco红外和绿光激光器产品线。整个Monaco系列可以通过直接烧蚀来实现各种晶圆材料的切割，包括碳化硅晶圆。