6月27日至30日，美国仪器、系统、过程控制与特种化学品技术解决方案全球供应商——MKS Instruments在德国慕尼光博会上“多箭齐发”揭开了Spectra－Physics®品牌新型激光器Talon® Ace、IceFyre® 、Vanguard One和CEP6的神秘面纱，向全球展示了其最新的激光技术成果。

其中，Talon®Ace是一款小尺寸的脉冲纳秒激光器，非常适合在先进电子和清洁能源领域中实现高产量的微加工操作。而IceFyre®则是一款功率 ＞200 W的新型红外飞秒激光器，能够在显示器制造、先进电子产品的生产以及精密工业应用中大展身手。紧凑紫外激光器Vanguard One以其可靠的品质和卓越的性能，为生物仪器应用领域提供了无限可能，另外用于科学研究的Spectra－Physics® CEP6实现了创纪录的低CEP噪声。

德国的“高光之旅”结束后，MKS公司日前又宣布，新型激光器Talon® Ace、IceFyre® 、Vanguard One三大人气产品将再次亮相本月11－13日举行的光电行业年度盛会——上海慕尼黑光博会！

而MKS公司之所以能在短时间内频频成为海内外两大盛会的焦点，并获得业内人士的一致认可，凭借的是其过硬的产品实力与潜心多年的技术积累。

激光在先进电子封装、PC板、光伏、陶瓷、半导体和其他材料和组件的高速高质量微加工中能够发挥独特优势，Spectra－Physics®Talon® Ace UV100激光器作为一款性能强大的新型脉冲纳秒激光器，在保持小巧体积的同时，还展现了极其出色的性能。

（图片来源：MKS Instruments）

＞100W单模纳秒紫外功率、＞500 μJ 的脉冲能量、优异的性价比，能够满足苛刻的全天候工业应用，充分体现了这款产品强大的市场竞争力。它提供了出色的灵活性，其TimeShift可编程脉冲功能和极其宽的脉冲重复率范围，均大幅优化了微加工工艺，带来更高效、更精确的解决方案。

搭载这些优势性能的Talon Ace UV100，无疑成为了一系列场景中高速高质量微加工的理想选择。维科网·激光获悉，目前所有Talon Ace激光器都已通过广泛的环境鉴定测试，以确保达到高可靠性的标准。此外，Talon Ace UV100还能够实现全自动和计算机控制，提供优异的光束指向稳定性，确保了高精度、高产量和操作一致性。

Spectra－Physics 副总裁兼总经理Herman Chui表示：“Talon Ace UV100是一款极具吸引力的创新产品，它在产量、质量和工艺灵活性方面均展现出卓越的性能，为全天候、大批量激光制造提供了高性价比的方案。在我们备受赞誉的Talon紫外和绿光纳秒激光器系列基础上，它还达到了100 W紫外功率，并搭载了我们独特的TimeShift可编程脉冲技术，进一步稳固了我们在激光微加工方面的标杆地位。”

Spectra－Physics® IceFyre®FS IR200工业级飞秒激光器基于MKS的深厚经验和强大飞秒激光技术积累打造而成，目前MKS正为其申请专利。

该产品可达到＞200 W的功率和＞200 μJ的脉冲能量，并产生＜500fs的超短红外（IR）脉冲。它能够提供从单次发射到50 MHz的宽重复频率范围，并采用了独特的TimeShift可编程脉冲串模式。此外，它还支持按需脉冲（POD）和位置同步输出（PSO）触发，为用户提供高度可控、更优化的加工体验。

在先进电子产品、显示器、清洁能源、医疗设备以及其他要求苛刻的工业应用中，IceFyre FS IR200激光器是实现玻璃、聚合物、金属、蓝宝石、聚晶金刚石以及许多其他材料的高速高质量微加工的理想选择。

资料显示，每台IceFyre FS激光器都通过了广泛的环境鉴定测试，以确保高可靠性和低成本的优势。全自动和计算机控制，全天候运行，以及在功率、光束参数和光束指向方面表现出优异的稳定性，使得IceFyre FS IR200在一系列苛刻应用环境下仍能保持高精度、操作一致性的优势。其独特的“It’s in the Box”设计，完美将激光器和控制电路集成在一个简单易用的封装中。这种设计理念不仅实现了更友好的用户操作，也为各种应用提供了更大的灵活性。

Spectra－Physics欧洲区总经理Jürgen Niederhofer表示：“新的 IceFyre FS IR200激光器是我们引领行业的IceFyre FS系列的重要补充，是我们将此系列优异的性能、多功能性和可靠性扩展到红外波段产品中的结果。这款新型激光器，是MKS在苛刻的高产量、精密微加工应用中的又一次前沿展示。”

Spectra－Physics Vanguard One UV125是基于此前Vanguard产品系列打造的又一最新力作。作为一款紧凑型、一体化、准连续紫外激光器，它将电子器件、激光腔和冷却部分集合在一个外壳中，能够轻松地集成于台式设备中。

（图片来源：MKS Instruments）

这款产品可提供＞125 mW的超高功率，并采用了风冷式工作模式，产生的噪声＜1％ rms，具有使用寿命长、成本低等特点。这些特性也使得它非常适合应用于生物仪器领域，包括流式细胞仪、显微镜、细胞分选以及半导体晶圆检测。

另外， Vanguard One UV125采用准连续波操作，确保了高荧光信噪比，同时也能够更好地防止生物仪器中的细胞遭受损伤。其激光固件实现了闭环功率控制，确保长期稳定性；功率变化小于2％，确保测量结果的一致性。Vanguard One激光器通过了广泛的环境鉴定测试，可靠性高、拥有成本低，非常适于生物仪器和要求苛刻的一系列工业应用。

Spectra Physics欧洲区总经理Jurgen Niederhofer表示：“Vanguard One是一款优异的的激光器，可满足生物仪器和工业应用对紫外激光的苛刻要求。基于我们在半导体市场上数十年的经验和久经考验的技术，这种新型激光器能提供生物仪器所需的卓越性能和可靠性。“

Spectra－Physics CEP6 技术，凭借其先进的载波包络相位（CEP）稳定能力，实现了创纪录的低CEP噪声。

这种技术在高度稳定的再生超快放大器中表现出卓越的性能，它可与性能优异的Spectra－Physics Spitfire Ace超快放大器搭配适用，并产生能量＞5 mJ、宽度＜25 fs 的脉冲以及优异的CEP稳定性，能在连续工作数小时内单次发射＜100 mrad（10次发射的平均值）和＜300 mrad。

据介绍，CEP6技术具有出色的性能和稳定性，是尖端阿秒（10^－18秒）科学和高次谐波应用的理想选择。

（图片来源：MKS Instruments）

公开资料显示，CEP6技术通过使用f－to－2f干涉仪来测量载波频率，这一方法利用Element 2倍频输出来实现。CEP6采用了前馈方法，克服传统的CEP稳定振荡器采用产生误差信号、通过机械控制棱镜或调整泵浦激光输出反馈振荡器的缺陷，这一创新显著降低了对外部扰动的敏感性，并将技术扩展应用到再生放大器中。这种前馈方法的采用，使得系统在连续工作数小时内能够实现稳定、低CEP噪声的运行，为用户带来了卓越的性能表现。

MKS Instruments于1961年在美国马萨诸塞州成立，是一家仪器、系统、子系统和过程控制解决方案的全球供应商，主要服务于半导体、先进电子和特殊工业市场。MKS 集团光电解决方案事业部目前拥有包括Spectra－Physics®、Newport™和Ophir®在内的光电子品牌。

凭借在光电领域的深厚积累与技术优势，公司的生产基地已遍布美国、中国、墨西哥、新加坡、等全球多个国家。

目前，MKS Instruments在压力测量和控制、流量测量和控制、气体和蒸汽输送、气体成分分析、电子控制技术、反应气体产生和输送、发电和输送、真空技术、温度传感、激光、光子学、光学、精密运动控制、振动控制和激光制造系统解决方案和特种化学品技术等方面均积累了自身的核心竞争力，此外还提供与产品的维护和维修、安装服务和培训相关的服务。

2023年7月11－13日，慕尼黑上海光博会将在国家会展中心（上海）盛大举行，此次展会将成为MKS公司（展位号：8．1馆 B516）向全球展示其新型激光器技术和产品的又一重要窗口。让我们拭目以待这些新产品的精彩表现！