首台超精密金属掩膜板（FMM）激光装备圆满交付

2023-08-22 14:55

8月20日，超通智能自主研发的首台超精密金属掩膜板（FMM）激光切割修复清洁研磨一体化智能装备通过初步验收，成功交付。

随着现代电子设备的高速发展，OLED是目前广泛应用于手机、电视、手表等的一种新型显示技术。FMM（Fine Metal Mask高精度金属掩模板）是OLED蒸镀工艺中的核心零部件，是用来制作R、G和B分色至关重要的核心耗材，之前，FMM生产制造过程中关键的激光加工工序所需的激光切割、修复、清洁、研磨设备主要被韩国日本等海外制造厂商垄断。

超通智能在FMM设备的研发中，不断创新突破，自主研发设计了飞秒激光整形光路、超精细三维修补头、激光／机械研磨加工头等多个核心部件，结合自研的加工控制软件实现了极致加工精度和质量，FMM像素点小开口加工精度＜1um，taper角加工精度＜±1°，开发了诸多创新型功能，相比韩国进口设备加工效率15％以上，开发出快速建模及工艺验证方法，帮助客户大大减少加工文档制作及工艺验证周期。

超通智能超精密金属掩膜板（FMM）激光切割修复清洁研磨一体化智能装备整体设置4个功能模块：

激光切割

利用超快激光切割FMM两端夹爪区（U形区），自动上下料对位切割，热影响区宽度小于20um。

激光修复

通过自主研发的超快激光光路及三维加工头，实现开口蚀刻不良、孔洞异形、R角缺陷等形状缺陷修复，最小开孔尺寸10um，最小R角1um，小开口加工／修复精度＜1um，taper角加工／修复精度＜±1°。

激光清洁

通过激光清洁工艺及相应加工头实现光阻残留、药剂残留、异物、胶状异物、透明异物、纤维类等异物清洁。

激光／机械研磨

集成在线测高系统，可实现2nm测高分辨率，100um高度测量范围。在线测量凸点位置和高度，通过激光研磨工艺或研磨带研磨方式去除凸点。