当地时间11月20日，隶属于日本滨松光子旗下的光电制造商Energetiq Technology宣布，公司已新成立了一个激光驱动光源（LDLS）业务部门。

Energetiq的LDLS技术创造了极小的、高亮度的等离子体，提供了高效的光收集和宽光谱范围，从深紫外到近红外，从1nm到2500nm甚至更高，运行时间超过10000小时。该技术可应用于包括半导体计量、椭偏、光刻和光刻胶开发等领域中。

目前，Energetiq已任命Vikram Singh博士担任这一新成立业务部门的副总裁兼总经理。Vikram Singh拥有丰富的半导体和可再生能源领域经验，曾在全球半导体刻蚀设备龙头——泛林半导体（Lam Research）、应用材料（Applied Materials）担任多个职位角色，包括产品开发、技术供应链行政管理等。在担任副总裁兼总经理期间，Singh博士将监督与激光驱动光源（LDLS）相关的研发、产品开发、市场营销、销售和服务运营。

Energetiq是工业和科学光源市场的一大参与者，总部位于美国马萨诸塞州威尔明顿，公司拥有超亮激光驱动光源（LDLS）、激光驱动可调谐光源（LDTLS）、极紫外（EUV）光源三大解决方案，并开发出了Chromatiq光谱引擎（CSE™）和无极Z－Pinch™EUV技术，始终致力于缩小专利超亮激光驱动光源和EUV技术在前沿研究和商业化之间的差距。这些技术补充和丰富了滨松光子的产品，包括光学传感器、光电二极管、硅光电倍增管、光电倍增管、红外探测器和需要这些组件的系统。

去年，Energetiq为其极紫外（EUV）光源产品建立了一个专门的部门，并在其母公司滨松光电（Hamamatsu Photonics）总部建立了一个研发机构，以支持EUV业务部门。之后，其激光驱动光源（LDLS）业务也已正式确立。

Energetiq生产的光源具有高可靠性、高性能、高亮度、长寿命等特点。其专利LDLS激光驱动白光光源是一款应用激光驱动技术，使用连续激光直接加热氙离子至需要的温度，以产生高效的宽频谱光。其光谱范围从深紫外线（DUV）， 可见光到红外光区（IR），主要具有以下特点：

• 高光谱宽度：170－2500 nm，几乎覆盖深紫外到近红外全波段

• 高亮度：＞10mW／mm²／nm／Sr，30W氘灯的100倍以上

• 超小发光点：～100μm

• 高功率稳定性：＜0．1％

• 极好的空间稳定性：＜ 0．1μm）

• 光谱平坦度： 3－5dB

• 长寿命：＞ 9000 hrs（10％衰减）

LDLS光源原理示意图（图源：Energetiq Technology）

另外，其激光驱动可调谐光源（LDTLS）可实现可调谐宽波长范围、高光谱分辨率和极长的使用寿命，方便光纤耦合输出。LDTLS具有精确的高性能单色器，用于精确的波长选择和可重复的光输出，可实现200nm／秒扫描速度。

LDTLS光源原理示意图（图源：Energetiq Technology）

Energetiq首席执行官Debbie Gustafson表示：“我们认识到，我们的核心LDLS技术在为半导体行业及其他行业创造尖端产品方面发挥着关键作用。”

众所周知，高品质、高产量是满足当下半导体晶圆市场需求的关键。而晶圆计量工具，则可帮助半导体制造商设计和制造缺陷较少的高性能集成电路（IC），使其能够扩展以满足不断增长的需求。表征和测量薄膜、线宽、图案缺陷和其他潜在缺陷的速度越快，就能越快地解决问题并减少代价高昂的停机时间。宽波长、高光谱辐射光源能够帮助这些操作实现异常的速度和准确性。LDLS®独特的工作原理，具有小等离子体尺寸和高空间稳定性，使高通量测量成为了批量生产环境的理想选择。