专利侵权！这家顶级激光巨头有100％的信心胜诉！

据韩媒报道，前不久韩国EO Technics宣布对DIT提起专利侵权诉讼。早在今年3月份EO Technics的年度股东大会上，其董事长成圭东会长便直接向股东宣布了这一诉讼消息。

相关资料显示，本次EO Technics方对DIT提起诉讼的主要原因是，此前DIT与SK海力士合作开发的激光退火技术侵犯了其专利技术。

事实上，早在2023年8月，DIT就已宣布将于2023年下半年开始向SK海力士供应少量的激光退火设备，用于HBM的前端工艺。

而据行业内的人士透露，DIT的激光退火设备经过长时间的评估，成功通过了质量测试，由于它将在下一代DRAM中引入，因此它还将具有很大的可扩展性。此次合作预计未来将扩大到数百亿韩元。

EO Technics是韩国顶级的半导体激光加工设备企业，成立于1989年，专注于半导体PCB、显示等领域，主要研发生产用于这些宏观制造工艺的激光器（涵盖光纤激光器、DPSS激光器、DDL激光器）、激光设备及激光综合专业解决方案。目前除激光切割、激光钻孔、激光打标外，EO Technics还能提供激光焊接等众多优异的解决方案。

DIT是韩国半导体和显示器检测设备的领先企业，成立于2005年，曾在2008年获得三星电子最佳供应商奖，并在2010年成为三星移动显示的合作伙伴。随后在2012年－2017年前开始进军中国市场以及开拓新业务，于2017年开始开发和供应激光切割检测设备。

2018年DIT在KOSDAQ上市，而DIT与SK海力士的联系则出现于同年，彼时其成为SK海力士第一合作伙伴。其主要专注于AI解决方案、AOI解决方案、激光解决方案以及红外领域。

事实上，2023年一季度，DIT的销售额为241亿韩元，营业亏损为15亿韩元。其中，AOI板块占销售额的93．7％、销售激光退火设备的激光解决方案部门的销售份额仅为2．7％。

一旦与SK海力士合作开发的激光退火设备供应全面展开，DIT的盈利反弹能力将会得到极大的加持。

值得一提的是，目前EO Technics正在基于自己的专利与三星电子在激光退火领域进行合作，而DIT则在去年与SK海力士在这一领域合作。两者大有几分三星电子与SK海力士之间代理人竞争的味道。

然而事实上，从EO Technics自2020年以来为三星电子的DRAM 1z（15nm级）量产工艺提供激光退火系统的历史来看，它在开发和量产供应历史方面处于领先地位。而当下韩国众多半导体企业均已在考虑引入激光退火设备。

让我们将目光移回本次专利诉讼案件上，EO Technics成会长此前曾在今年3月28日的股东大会上指出，EO Technics认为DIT的激光退火侵犯了EO Technics的专利技术，但并没有给出具体的诉讼时机，成会长还声称EO Technics有100％的信心赢得这个案子。

没有给出诉讼时间也意味着，EO Technics或许会给DIT留有谈判的余地。然而成会长的一席话直接给DIT股价当头一棒，当日收盘时为20850韩元，次日收盘则达到了18900韩元，而EO Technics的股价反而大涨。

如今，恰逢HBM市场蓬勃发展的阶段，激光退火设备也是极为关键的一环。就目前而言，使用钨气卤素灯的快速退火方法是目前的主流。

而激光退火是一种通过用激光局部照射晶圆缺陷进行热处理的方法。由于它是一种激光照射方法，因此不存在由热引起的缺陷问题。这项工艺对三星电子和SK海力士产品的产量有直接影响。

本次专利诉讼的依据则是源于EO Technics在2013年申请的专利——激光退火装置和激光退火方法。EO Technics认为DIT的新型激光退火设备侵犯了其知识产权。

SK海力士选择DIT共同开发这项技术的目的不言而喻，就是为了将开发技术在一定时间内保留在自己的价值链中。据了解，DIT供应的激光退火设备价值150亿韩元，若未来EO Technics方面胜诉，SK海力士方面也将受到牵连，同时也意味着花费了将近5年时间开发的设备将毫无用处。

有趣的是，SK海力士也是EO Technics的客户，其向SK海力士，提供激光打标解决方案，无疑本次事件将有可能导致两者关系恶化。

目前，DIT方面暂未就此事做出回应。