“维科杯·OFweek2024激光行业年度评选”由高科技行业门户OFweek维科网主办，维科网·激光承办，活动旨在表彰激光行业具有突出贡献的优秀产品、技术及企业、人物，鼓励更多企业投入技术创新，同时为行业输送更多创新产品、前沿技术，以提高生产力、经济效益，给用户提供更大便利，引导行业良性快速发展。

本次评选活动2024年8月5日－8月14日为网络投票阶段，并将于2024年8月28日在深圳福田会展中心（7号馆）举行盛大的颁奖典礼。

目前，活动正处于火热的报名申报阶段，业内企业均积极响应。

深圳市大族半导体测试技术有限公司已经正式参评“维科杯·OFweek2024年度激光行业最佳精密激光设备技术创新奖”。

参选奖项：维科杯·OFweek2024年度激光行业最佳精密激光设备技术创新奖

参选产品：高精密薄膜激光调阻机（HTS801－RH）

产品推出年份／开发背景：推出年份：2023年，开发背景：薄膜电阻由于材料及成膜厚薄的工艺因素，制作出来的薄膜电阻阻值难以达到需要的精度要求，通常采用修调的方式实现对阻值的改变和提高薄膜电阻阻值的精确度。激光调阻技术是实现高精度薄膜电阻的重要方式，也是薄膜电路最精密的调整方法。我国高端薄膜电阻技术与海外发达国家相比存在一定差距，原因之一为国内在薄膜电阻的高精密调阻领域设备尚处于空白，因此国内亟须该类激光调阻设备替代国外的高昂设备。

产品扼要说明：激光调阻是在计算机程序控制下通过激光束切割电阻改变电阻的阻值并同时通过高速测量系统实时测量电阻值，从而实现电阻的精密修调。大族半导体测试技术有限公司依托母公司大族集团的先进激光装备技术，基于自主知识产权的高速高精密测量系统和全功能调阻控制系统推出的激光调阻机HTS801－RH不仅能对薄膜基片进行调阻，而且能对薄膜混合集成电路进行微调，实现电路功能和参数精密修整，是电子行业生产精密薄膜电阻和薄膜混合集成电路的关键设备。激光调阻机HTS801－RH基于测试机ATE技术实现的高速高精密测量系统兼容从1mΩ到100MΩ的测量范围，实现了万分之二的测量精度和3μs的业界最快测试响应速度，这些决定性的优势奠定了HTS801－RH在市场的领先地位。

其设计应用或创新的关键点在哪里：HTS801－RH在研发设计中：一、研究高级算法的校准机制以解决硬件电路由于器件自身特性会呈现出性能偏差，创新性采用了全量程全曲线范围的二次曲线算法校准补偿机制，保证了高中低量程的测试精度；同时全线路等电位屏蔽设计有效降低外部环境对测量系统的干扰，保证了测试稳定性。以高速FPGA为核心，软硬件俱自主设计的测量系统实现了业界最快测试响应速度，远快于激光单点的出光时间，在高速调阻的同时确保了调阻的高精度。二、研究具有统一架构的系统软件，实现对设备的光学系统、激光束定位系统、视觉定位系统、多轴运动系统、PMU测量系统等实施统一控制和调度，实现对机台的一站式管理；研究调阻路径与阻值变化之间的关系，以创新路径优化调阻；深入调研客户需求，以使软件开发契合通用性与灵活性，快速高效。创新点包括：1． 在系统软件中，修调流程编辑模块化图示化，软件在测调过程中根据用户预设条件可动态判断跳转流程，根据用户特殊工艺场景，对目标值进行预设公式计算后对产品进行跟随修调。2． 在基本刀型基础上实现单步缩进、尾部降速、尾部降能以及缩进加尾部降速、降能的混合方式调阻，以此在提速过程中减小激光过冲问题，解决高阻激光修调变化率大的问题，同时降低激光热效应对阻值测量的影响，提高效率的同时保证调阻精度。3． 高效实用的功能修调算法，Π型电阻功能修调通过数学建模建立Π型电阻模型，伏安法测试两两间阻值建立三元一次方程组，通过数学的算法得出每个模型里面每个电阻的阻值，可以替代复杂的硬件电路，实现高精度高速闭环电阻的阻值测试；惠斯通电桥功能修调通过数学建模建立惠斯通电桥模型，用户仅需设置测量参数，模型即可根据伏安法测出的阻值和电阻比例关系自动计算出各个桥臂电阻的阻值，且用软件的方式实现了等阻和不等阻方式的调阻方案来调节电阻，使电桥达到平衡。这些高级修调算法使得修调系统简便快速自动和大大提升了精度。          

参选述说／理由：精密薄膜电阻和薄膜混合集成电路主要应用于高端装备，包括国防军工、航空通信等领域，国内薄膜混合集成电路发展较晚，欧美厂商占据国内市场大部分份额，相对于厚膜混合集成电路生产，薄膜混合集成电路企业较少。激光调阻机（HTS801－RH）将极大促进我国的薄膜电阻和薄膜混合电路制造国产化进程，大幅降低企业采购成本，带来明显的社会经济效益。深圳市大族半导体测试技术有限公司作为国内唯一可提供全系列调阻设备和调阻全行业定制方案供应商，在薄膜精密修调领域和功能修调领域具有市场主导地位，在分布于国家重大战略性产业的重点客户中树立了良好的口碑。客户包括国内航空、军工、船舶和其他电子领域的国家中央企业：中国电科、中国电子、中国航天、航空工业等，也包括为国家重点工程配套产品和军用电子元器件配套产品的高新技术企业。随着现代电子封装制造技术的发展，混合电路技术进入了某些新兴领域，例如声表面波器件、膜式敏感器件和多芯片模块高级混合集成电路。大族半导体测试在技术浪潮中与时俱进，以客户为中心不断提升设备实用性提供解决方案，以成为客户可依靠的价值链组成部分为目标与客户相互成就。随着激光修调技术在基于晶圆制程的薄膜电阻的突破应用，高精密薄膜激光调阻机（HTS801－RH）的应用领域进入了晶圆MEMS传感器芯片修调、IC辅助制造和高度集成化电子系统等半导体行业，开辟了更广阔的行业市场应用。                                                                                              

本届“维科杯·OFweek2024激光行业年度评选”活动于8月5日开始进入火热的“网络投票及专家评选”阶段，这一阶段用户可登录活动官方网站，对入围参赛企业、产品进行投票；评委团将对入围名单进行多次讨论，并参考网络投票意见，审定最终获奖名单。

还犹豫什么，赶紧去参加吧！8月5日起，为心仪的企业及产品投票吧！