首台国产激光直写曝光设备交付面板龙头！

2025-10-31 18:17

在全球显示面板产业竞争白热化的当下，“中国屏” 的崛起不仅关乎产业链话语权，更承载着科技自主的战略使命。

近日，江苏影速集成电路装备股份有限公司宣布，其自主研发的用于平板显示的FEM2000激光直写曝光设备正式出货至北京某半导体显示产业龙头企业。

长期以来，在面板制造的上游设备领域，中国企业备受 “卡脖子” 难题困扰：面板掩模版依赖国际巨头，曝边、打码设备被日韩企业垄断，核心技术受制于人。

如今，FEM系列激光直写曝光设备的面世，正在扭转这一局面。该系列覆盖从G6到G10．5代线全尺寸激光直写曝光，目前影速集成与国内多家面板生产商头部企业展开深度合作。2025年8月9日影速最新推出的FEM2000激光直写曝光设备出货至北京某半导体显示产业龙头企业。

面板制造的每个环节都对精度有极致要求，FEM系列激光直写曝光设备凭借高分辨率、高稳定性的特性，在五大核心场景中价值凸显：

赋能全流程研发生产：从实验室样品到量产线导入，研发阶段对设备灵活性要求高。FEM系列支持小批量、多品种快速切换，配合开放式工艺参数接口，可缩短面板企业研发周期。

助力UV－Glass生产：UV－Glass作为液晶显示面板的 “玻璃基板”，其表面处理影响显示效果。FEM系列通过激光直写技术，能在超薄玻璃上实现微米级线宽精准刻画，保证透光率与均匀性。

赋能FMM／CMM金属掩模版制造：柔性OLED的核心材料FMM与CMM，需在超薄不锈钢基板上加工出数百万元素的微纳结构。FEM系列的高功率紫外激光配合动态聚焦系统，可突破传统光刻工艺套刻精度限制，提升产品良率。

支撑大尺寸通用掩模版制造：对于65英寸到110英寸的超大尺寸电视所用掩模版，FEM系列通过多场同步曝光技术，为大尺寸面板量产提供关键支持。

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