EVG
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IBM就激光剥离技术与EVG达成许可协议
奥地利晶圆键合和光刻设备供应商EV Group (EVG)日前宣布，将与IBM合作签署关于激光剥离技术的许可协议。EVG计划将IBM的混合激光释放工艺集成到其临时粘合和剥离设备解决方案中，这可以使大批量制造商实施优化的临时粘合和剥离工艺流程。
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