MEMS
MEMS一般指微机电系统。微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。微机电系统是在微电子技查看详情>术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS是一项革命性的新技术，广泛应用于高新技术产业，是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。
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北京大学研发基于超短脉冲激光的MEMS传感器振动特性刻蚀调控设备
近日，北京大学集成电路学院、微米纳米加工技术全国重点实验室，集成电路高精尖创新中心研究团队在《IEEE半导体制造技术》期刊（IEEE Transactions on Semiconductor Man
脉冲激光 2024-02-18 -
国产MEMS振荡器可替代SiTime用于光纤激光切割机方案
光纤激光切割机具有集光率高，能得到更小的聚焦光斑，切割线条更精细，加工质量更好等性能。光纤激光切割机的核心部分就是振荡器，振荡器结合LBC技术，这是一种动态光束形状控制，通过高速振荡光纤激光器的低阶焦
光纤 2023-11-24 -
RoboSense牵头成立全国首个车载MEMS标准化工作组
近日，RoboSense速腾聚创正式牵头成立了国内首个车载MEMS标准化工作组，RoboSense速腾聚创标准总监杨旸担任工作组召集人。 RoboSense速腾聚创联合创始人兼CTO刘乐天代
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Block MEMS斩获220万美元合同，为美国海军提供先进光谱仪
近日，Block MEMS公司获得美国海军水面作战中心印度分部(NSWC IHD)一份价值220万美元的合同。该分部预计将使用Block公司专有的量子级联激光器进一步开发和提供一种先进的光谱仪。
光谱仪 2023-03-29 -
车规级MEMS激光雷达研发企业一径科技完成C轮融资
近日，一径科技正式完成数千万美元C轮融资。本轮融资由元生资本领投，中信证券投资、卓源资本、亦庄资本跟投。结合前期百度，小鹏汽车战略出资发起的星航资本，上汽旗下尚颀资本，东风汽车旗下东风交银产业基金，国
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兼容CMOS激光结晶工艺诞生，可直接在有源电路上制造MEMS传感器
他们合作开发出了一种用于生产微型机电系统(MEMS)的CMOS兼容沉积和激光结晶工艺，能够用于直接在有源电路上制造MEMS传感器单元。与其他常见工艺相比，这种方法消除了对导线和焊点的需要，从而能够显著缩小组件的尺寸并提高传感器的性能。
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通快投资一光学MEMS麦克风厂商，拥有专利激光音频技术
4月27日，激光巨头通快旗下风投部门Trumpf Venture宣布向挪威初创公司sensiBel投资1500万欧元，支持后者高品质光学音频设备的生产。将能够帮助该公司加大研发力度，将麦克风的生产规模扩大到工业规模，并进一步推进国际营销。
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光学MEMS领导厂商PMC斩获韩泰集团投资，推进激光雷达技术落地
全球光学MEMS解决方案的领导者——Preciseley Microtechnology Corporation (PMC)近期获得了韩泰集团及其关联公司韩泰轮胎与技术的战略投资。
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英特尔注资车规级MEMS激光雷达解决方案提供商一径科技
“京东是一径科技目前最大的客户之一。”作者：Kyle 出品：财经涂鸦6月18日，车规级MEMS激光雷达解决方案提供商北京一径科技有限公司（下称“一径科技”）宣布完成数亿元B轮融资，本次融资由英特尔资本和创新工场分别领投B1和B2轮
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估值达10亿，国内MEMS激光雷达公司一径科技完成数亿元B轮融资
国内MEMS激光雷达公司一径科技宣布，已经完成数亿元B轮融资。本轮融资由英特尔资本和创新工场分别领投B1轮和B2轮，这是国产激光雷达公司所获的又一轮大额融资。目前，公司估值达10亿元。
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MEMS微镜成为激光雷达主流，量产代工亟待破局
本文来源:智车科技/ 导读 /由于中国企业的参与,全球第一激光雷达厂商已败退中国市场,主要是产品在中国失去了价格竞争力。面前,中国激光雷达厂商在技术方面已不输国外,在20多家中排名靠前的包括禾赛科技、速腾聚创、镭神智能、北科天绘、华为、北醒光子、佳光科技、砝石激光、览沃科技、砝石激光等
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智能驾驶热下 MEMS激光雷达角逐前装量产
汽车智能化变革的出现，让激光雷达技术有了很大用武之地。而高级别自动驾驶的发展，更是催生了巨大的激光雷达需求。激光雷达，能够利用激光测量距离，生成有关车辆周围环境的三维数据。与摄像头不同，激光雷达直接对物体进行三维成像，不会被平面图像如阴影所欺骗
激光雷达 2021-05-06
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